慢性漏气的加速检测法  对电视显像管、示波器管以及可连接成三极管的电真空器件,均可以连接成热阴极电离计  规管的形式,用管本身作为规管测量出管子内的真空度。从理论上讲,只要把管子存放一段时  间,测出管内压力增长率,便可确定出管子是否漏气及其漏率的大小  般管子为了维持工作真空度,管内都加有消气剂,在其有效工作期内对活性气体几乎全  部吸收,而对惰性气体几乎不吸收。管内的压力增长率取决于惰性气体,其中主要是氩气

超高真空全压力测量的要求  目前用于超高真空测量几乎都釆用相对规测量原理,仪器包括测量规和测量线  路,测量规和真空系统连接,规工作的各级电压由测量电路给出,与压力有关的电  信号通过放大及处理并以压力形式给出。最常用的全压力测量计有BA型及其他  类型的热阴极超高真空电离计、冷阴极正磁控管型真空计和反磁控管型真空计。为  了满足超高真空测量的特殊要求,在测量仪器选择、规的安装和正确使用等方面应  注意下面几个问题。 

 油扩散泵是高真空系统经常使用的泵种,采取某些技术措施,可以获得超高真空,其方  法有如下几种  (1)选用性能好的扩散泵油  泵油对油扩散泵极限压力影响很大,如使用3号扩散泵油,其极限压力只能达到10-5  Pa,而改用了275硅油,其极限压力能达到10-Pa,极限压力提高2个数量级。其次被抽  气体的分压力也随泵油的不同而变化,这就是泵油成分带来的影响。为此用油扩散泵获得超  高真空,必须选择性能好的扩散泵油。对扩散泵油的要求是:泵油的相对分子量要大,常温  下的蒸气压要低,热稳定性和抗氧化性要好,凝固点和低温黏度要低、要无毒、耐腐蚀、成  本要低。扩散泵油的性能参数见表4-38所示。

①扩散泵系统油扩散泵是获得超高真空的重要泵种,但必须很好地解决污染,否则  无法获得超高真空。  扩散泵系统的污染主要来自扩散泵油的返流,机械泵油的返流,以及扩散泵油加热分解  产生的永久性气体,如氢、甲烷、乙烷等的返流。扩散泵油返流原因、影响及防止在第4章  论述,这里不再赘述

Batzer密封法  Batzer密封法兰,它能够提供足够的弹性变形和高密封力,结构形式如图3-1  所示。金属密封面为1.5m的光洁表面,放大图中角度A约为1.5°,比法兰的弯  曲变形大0.8°,这样可保证在内径的指定的区域获得可靠的密封。法兰用螺栓拧  紧时,每只法兰密封处产生0.15mm的弹性变形,螺栓伸长0.05mm,总变形量约  0.35mm。铝箔垫片厚度为0.02~0.08mm,潜在蠕变量约0.02mm,垫片潜在蠕  变量比弹性变形量小得多,这样在烘烤后,仍能保持初始密封力的大部分。垫片压  缩区的实际径向宽度大约1mm,线密封力大约3×105N/m。此数据试验参数为  304不锈钢螺栓直径9.5mm、螺纹每厘米6.3牙,螺栓间距5cm,螺栓扭矩4  105N·n