漏油是爱德华机械真空泵常用的一种异常现象，主要在油镜，油箱密封处，还有就是电机轴承这几个位置，造成漏油的原因主要是这些部位老化，密封失效导致的。

    超高直空系统清洗处理非常重要,清洗处理好与否,直接影响极限真空的获得。良好值  清洁处理工艺,可以使材料的出气率低几个数量级,以不锈钢为例,长期暴露于大气,不进后可到1×10-1.,,,若除油后再清洗,在250℃下烘15h,出气率可到1×10-Pa·m3/(s·m2),使出气率下降了近五个数量级  直空系统圳烤,对获得超高真空是不可少的手段,一个设计合理的真空系统,如果没有  烘烤手段也没有采取其他措施,无论选择什么类型的真空泵抽气,如扩散泵、溅射离子泵  低温泵泵等,只能获得的工作压力约为10-4~10-Pa数量级,极高真空10-6Pa量级,再高的真空度是不可能的

 
低温泵长期连续运转,泵的抽速随抽气时间延长面逐渐良减,当抽速下降到原  (3)低温泵的最大抽气容量(和抽气容量)
快,此时,需要停止运转升温再生,用以恢复泵的原有的抽气丝必,出了ZDB  500型制冷机低温泵抽氢的气容量曲线,超过饱和抽气容M267给  始抽速60%时,所累积抽除的总气量称为“饱和抽气容量”,图  衰减很

涡轮分子泵的结构示意图和涡轮叶片展开图如图4-51及图452所示。从图中可知,泵  的转子和定子都装有多层(一般为15~31层)涡轮叶片,转子与定片叶片的倾斜面方向相  反。每一个转子处于两个定片之间。涡轮分子泵工作时,转子高速旋转迫使气体分子通过叶  片从泵的上部流向出口,从而产生抽气作用。排出的气体经排气管道由前级泵抽走