超高直空系统清洗处理非常重要,清洗处理好与否,直接影响极限真空的获得。良好值  清洁处理工艺,可以使材料的出气率低几个数量级,以不锈钢为例,长期暴露于大气,不进后可到1×10-1.,,,若除油后再清洗,在250℃下烘15h,出气率可到1×10-Pa·m3/(s·m2),使出气率下降了近五个数量级  直空系统圳烤,对获得超高真空是不可少的手段,一个设计合理的真空系统,如果没有  烘烤手段也没有采取其他措施,无论选择什么类型的真空泵抽气,如扩散泵、溅射离子泵  低温泵泵等,只能获得的工作压力约为10-4~10-Pa数量级,极高真空10-6Pa量级,再高的真空度是不可能的
不锈钢最有效的加速出气方法有两种:①在800-950℃下真空烘烤:②在400℃下空气  中烘烤。真空烘烤应在10-Pa下进行,这样可使材料中的氢浓度降低到最低限度。烘烤应在2700Pa的纯氧中进行,以避免烘烤过程中,存在的水蒸气对表面产生影响
烘烤时需要注意金属玻璃封接件、金属陶瓷封接件的烘烤温度不应超过400℃。铜垫圈不应超过450℃玻璃烘烤温度根据种类不同而异,其范围为140~300℃内,非金属材料为80-100℃·普通金属材料为300~450℃
(3)抽气技术
超高真空系统所用的主泵有油扩散泵、溅射离子泵、钛泵(蒸发式或升华式钛泵)、涡  轮分子泵、低温泵等,近年来国内有用错铝吸气剂泵与其他泵类组合抽气来获得超高真空  对超高真空系统使用的真空泵要求,除通常的选泵原则外,还有  a.主泵极限真空要比真空装置的工作真空高一个到一个半数量级,如工作真空选  1×10-Pa,那么泵的极限真空至少为1×10-7P  b.在真空装置工作真空范围内,真空泵要有足够的抽速,以便排走装置中的气体;  c.主泵或者主泵人口到真空室排气口的管道、冷阱、挡板、阀门等均能经受250  450℃的烘烤;
d.主泵对被抽气体有选择性抽气时,应配辅助泵联会抽与