液环泵一般所用的工作液都是水，水的工作温度(一般为15~20℃)和水的蒸汽压  力决定了液环泵的极限压力。因为作用在转子叶轮上的能量被液体接收并传给被压缩的  气体，这样就造成了水环泵的温度升高。水环的部分水与气体一起压缩排出泵外。在压  缩过程中产生的大部分热量被带走，因而需要不断地补充新鲜的水，以使水环泵的工作  温度保持恒定。当泵接近极限压力时，抽速很低，泵人口处的水开始沸腾。当转至泵的  出口时，形成的气泡开始破裂。

                           爱德华RV12型泵；图3-5是2X-1型双级旋片泵的剖面图。气  体被抽除的路径由图中箭头所示。排气活门(阀片10)是用耐油  橡胶板做成。为防止固体微粒落入泵内损伤表面，特在进气管  里装有进气滤网(1)在排气阀上装了油气分离室(1),用它把  被抽气体所带的油滴与气体分离开，油流回箱里，气体与部分  油雾混合物排到大气中去。整个泵体浸在油箱(12)中，淹没泵 
的排气阀，从而保证整个泵体密封。轴封(17)用的是耐油橡胶  密封垫圈，用压板在轴外固定(参3-23)  RV12型高速直联旋片泵：图3-6是RV28型泵结构。  它与原结构的RV12型比，抽速相同，但重量和体积都只有原  。高  泵的三分之一。

                        g是决定于几何形状的常数；u为动叶片的转速。实测结果如图4-61所示  即抽速随转速的增加比直线稍慢。这可由抽速高时进气管道流导的限制作用来解释，依式  (4-66),S将随S1增大而偏离直线。  (2)抽速与进口压强的关系  分子泵在分子流的压强范围内，其抽速几乎不变。因为分子流时流导C与压强无关；  又依式(4-65),S1只决定轮叶形状、转速及气体种类，也与压强无关。故依式(4-66),实  际抽速也就与压强无关。

                                          
   为了满足超高真空分压力测量的使用要求，操作者应根据质谱计主要技术指标  选择适当的仪器。真空质谱计的技术指标通常包括：质量范围、分辨本领、分压力  灵敏度、最小可检分压力、最大工作压力、扫描速度和最小可检浓度等项。  (1)质量范围  质量范围是指质谱计在具有一定灵敏度和分辨本领的条件下，仪器能够工作的  最小质量数到最大质量数之间范围，用质量数M表示。质量范围的下限是用真空  系统残余气体的谱峰来确定，

                         弯注抑制规如图4-3所示，由阴极、电子加速栅极(加速极)、离子聚焦极、  辅助阳极、抑制极、离子收集极、内偏转极、外偏转极和屏蔽罩组成。由阴极、电  子加速栅极构成规的电离系统和由屏蔽罩抑制极和离子收集极构成离子收集系统。  在电离系统和离子收集系统之间，设置了一个90°离子偏转系统，偏转系统包括聚  焦极，内、外偏转极。  规的工作原理为：规管内被测气体分子在栅极框被电离为正离子，离子被离  子聚焦极引出并聚焦后经静电偏转系统偏转90°后进入离子收集系统。