对通常被称之为五片式的组合泵，其修理方法与前述一些  故障修理方法大同小异。在些例修理Z165型泵时，实际  已详述了它的修理过程，这是一种油浸式组合泵，还有一种油封式，修理方法亦相似。  例如：有一台爱德华E2M275型组合泵，在使用两年以后，发现极限真空度下降，需要修理。  先按组合泵拆装步骤拆下清洗：拆去端盖，拿出转子和旋  片，用汽油清洗去除杂质，凉干后，测量部件的尺寸公差，以  检査磨损情况。

多室泵与往复泵结构复杂，与前述泵不同，故在此重点地描述它们的维修要点
 多室泵的维修  多室泵属旋片泵的一种，是它的组合机组类型，其安装使用方法与旋片泵等油封式泵虽类似，亦有差别。

    热阴电离规测量下限的扩晨  中，约150V电压加速的电子碰撞到极上，棚极将产生软X射线，其波长不短下  100A(1A=10-10m).软X射线照射到离子收集极时，将导致收集极发射光电子，  其效果等效于收集极收集到离子流，x实际上是和压力无关的虚假的离子流  (以区别于反映和压力有关的真实离子流)。因此在测量电路上测量到的离子流包括  实际离子流1和虚假离子流x两部分。显然Ix限制了热阴极电离规的测量下限  1x和加速电压V、电子电流1。以及离子收集极受X射线的照射面积F有如下

 在真空系统装配中，柔性管路接头用来适应热膨胀或位置调整(零件之间需要  有相对移动),或者需要隔离振动以及强度弱的零件免受应力损伤等。  超高真空系统的前级低真空，可采用真空橡胶管、塑料管等柔形管路，管路壁  厚要能承受大气压力，薄壁管要在管内设加强件(如钢丝弹簧)。

 在多级油扩散泵中，利用伞形唢嘴和喷射喷嘴及导流管组成导流系统  伞形喷嘴的特点是喷嘴直径一般比一级大呈塔形。因为喷嘴与泵壁之间的间隙越大，气  体扩散的有效面积就越大。所以位于泵入口端的第一级主要从增大泵的抽速来考虑。由于气  体经过一次压缩后，压力增大，气体密度较高，在较小的面积里就能通过。