正宇真空设备
Zhengyu vacuum EquipmentProfessional vacuum pump equipment and maintenance parts service provider
产品分类
Product Categories在多级油扩散泵中,利用伞形唢嘴和喷射喷嘴及导流管组成导流系统 伞形喷嘴的特点是喷嘴直径一般比一级大呈塔形。因为喷嘴与泵壁之间的间隙越大,气 体扩散的有效面积就越大。所以位于泵入口端的第一级主要从增大泵的抽速来考虑。由于气 体经过一次压缩后,压力增大,气体密度较高,在较小的面积里就能通过。所以,后儿级喷 嘴与泵壁的间隙做到越小越好。这样还可以防止压力越来越高的气体穿过蒸气流反扩散到高 真空端去使泵的极限压力降低。 伞形喷嘴有两个主要的几何参数 ①喷嘴间隙8。如图491所示,间隙的大小影响到油蒸气流的流 =0.5~2m
量及泵的性能,一般 ②喷嘴张角。如图492所示,张角过大,从喷嘴到泵壁的距离远了,在泵壁附近不能 形成较密集的蒸气流,气体反扩散增强,泵抽气性能变坏,张角太小,油分子的水平向速度 增大,容易引起油蒸气发射到高真空端去并使气体分子向蒸气流中的扩散受到阻碍,也使使 泵的抽气性能变坏。一般,张角的选取范围在50°~80,对于不同大小和形式的泵,设计时 选取的张角的数值也不同。
与伞形喷不同 扩散泵末级有用喷射喷嘴的,它 截面积最小的喉部(见图4-103)。这种喷嘴通常和一个扩压器相配全,来保证泵能承受较 高的出口压力。
它的形状是先渐缩后渐扩
中间有个
已时原理,工作油蒸气经过喷射喷嘴后,在其出口处可获得很高的速度(可 达到超音速)。再根据能量守恒定律,流速快的地方则压力较低,故在出口处形成一个低压 区。于是被抽气体由于压力较高将流向此处,并与蒸气射流相混合,被带往泵的出口方向。 紧接着喷射喷嘴的是一个扩压器。在扩压器里的流动过程刚好与喷射喷嘴相反,即在扩压器 里,将混合后的气体的流速降低,压力提高,便承受较高的反压力 采用喷射喷嘴和扩压器后,不仅可以提高泵的最大许可出口压力,也可以提高泵在中等 压力时的抽速,故一般扩散泵常以喷射喷嘴作为最后一级,也称喷射级。