目前用于超高真空测量几乎都釆用相对规测量原理,仪器包括测量规和测量线  路,测量规和真空系统连接,规工作的各级电压由测量电路给出,与压力有关的电  信号通过放大及处理并以压力形式给出。最常用的全压力测量计有BA型及其他  类型的热阴极超高真空电离计、冷阴极正磁控管型真空计和反磁控管型真空计。为  了满足超高真空测量的特殊要求,在测量仪器选择、规的安装和正确使用等方面应  注意下面几个问题。  ①测量计的选择。仪器的压力测量范围应满足真空系统压力测量要求,特别  要求仪器的测量下限应低于系统的测量指标要求。在下限测量中,仪器必须具有  定的测量精度和测量不确定度  ②测量规在工作中不应对真空获得带来严重影响,特别应考虑灯丝出气、灯  丝在高温条件下对气体组分的改变等因素,最好选用低温灯丝  ③为了真实反映被测处的压力,压力规的安装应尽量接近压力被测量处,选  择直径大的短管道连接,有条件情况下可选用裸规。  ④压力规应能满足超高真空系统的高温烘烤要求  ⑤减小被测系统对规管测量带来的影响如:热辐射、离子扩散、电磁干扰等
⑥在被测压力连续测量条件下,压力规具有较长的寿命。  ⑦在极高真空系统运行过程中,应正确使用测量规,避免规的出气影响系统  的真空获得  此外,为了提高测量的准确性,必须对超高真空计进行校准。校准在专用的极  高/超高真空校准系统上进行,校准系统的极限压力应满足校准要求,低于被校规  的测量下限。利用动态直接比对法进行压力相对校准,校准范围为10-5~10-7Pa,  利用分流法、压力衰减等方法实现绝对校准,校准范围为10-4~10-9Pa。