油扩散泵是高真空系统经常使用的泵种,采取某些技术措施,可以获得超高真空,其方  法有如下几种  (1)选用性能好的扩散泵油  泵油对油扩散泵极限压力影响很大,如使用3号扩散泵油,其极限压力只能达到10-5  Pa,而改用了275硅油,其极限压力能达到10-Pa,极限压力提高2个数量级。其次被抽  气体的分压力也随泵油的不同而变化,这就是泵油成分带来的影响。为此用油扩散泵获得超  高真空,必须选择性能好的扩散泵油。对扩散泵油的要求是:泵油的相对分子量要大,常温  下的蒸气压要低,热稳定性和抗氧化性要好,凝固点和低温黏度要低、要无毒、耐腐蚀、成  本要低。扩散泵油的性能参数见表4-38所示。

现在高真空油扩散泵普遍采用3号扩散泵油,超高真空采用硅油,要求不含碳氢化合物  的超高真空系统,扩散泵采用氟油。  (2)采用合理的烘烤技术  用油扩散泵获得超高真空系统都进行高温烘烤,目的是减少材料的出气速率。材料在大  气压下都能吸收和吸附一些气体,当处于真空中时,便产生解吸,使气体缓慢地释放出来,
为了加速解吸,采用姒烤  材料的不同,选择的烘烤温度也不同,原则是温度高一些好,可以加速出气,但还要考  虑到材料是否能经受得往高温,烘烤温度要选择合适。通常金属材料,如不锈钢,烘烤温度  为250~450℃,非金属材料烘烤温度为80~100℃,烘烤时间4-8h以上。极高真空的烘烤  时间在24h以上。典型金属油扩散泵系统(烘烤后)的性能和金属油扩散泵超高真空系统中  剩余气体组分见表4-37和表4-39所示。
(3)增加冷阱装置防止泵油返流和迁移  泵油通过泵的入口流向被抽容器的现象叫做返流。油分子沿着容器壁移动进入被抽容器  壁的现象叫做迁移。无论返流或是返迁移都会影响真空系统的极限压力。冷阱广泛用于超高  真空系统,它装在泵入口和被抽容器(亦称真空室)之间,不仅能有效地捕集扩散泵的返流  蒸气及部分分裂解物,而且可抽除来自真空室的蒸气。装有各类冷阱的超高真空系统,经过  彻底的高温烘烤去气后,可获得10-8~10-10Pa(或更高)的超高真空度。常用的冷阱是液  氮冷阱,因为在液氮温度下,泵油的蒸气压力大大低于超高经过彻底的高温烘烤去气后,可  获得10-8~10-10Pa(或更高)的超高真空度。常用的冷阱是液氮冷阱,因为在液氮温度下  泵油的蒸气压力大大低于超高真空度的要求。但设计液氮冷阱时必须保证通过阱的分子都会碰  到冷面上,同时阱的结构要合理。装上液氮冷阱后,油扩散泵的抽速降低不高于40%  (4)减少被抽气体反扩散  被抽气体反扩散是限制扩散泵获得高真空因素之一。气体反扩散和分子质量有关。质量  愈小,愈易反扩散。扩散泵抽氢时易反扩散,防止氢反扩散方法有两种:其一,降低扩散泵  出口排气压力,采用两个扩散泵串联来实现;其二是在扩散泵进气口管路上安装液氮冷却的  钛升华阱来捕集反扩散的氢