真空泵所用钢材应选用不锈钢。

 ①扩散泵系统油扩散泵是获得超高真空的重要泵种,但必须很好地解决污染,否则  无法获得超高真空。  扩散泵系统的污染主要来自扩散泵油的返流,机械泵油的返流,以及扩散泵油加热分解  产生的永久性气体,如氢、甲烷、乙烷等的返流。扩散泵油返流原因、影响及防止在第4章  论述,这里不再赘述。分解产生的永久性气体用液氮冷阱是无益的,应使用钛升华阱,使用  钛升华阱得到了10-Pa的真空度
减少机械泵油的返流有三种方法:a.在粗抽管道中加液氢冷阱,是一种最有效的方法  b粗抽管道上安装充气阀、充入干燥氮气,使真空室保持到15-30Pa真空度:c.不用粗抽  管道,通过扩散泵进行粗抽  般来讲,污染控制较好的真空系统,可得到10-0Pa的真空度  ②涡轮分子泵抽气系统高压缩比的涡轮分子泵,以双级旋片式真空泵为前级,可得  到5×10-Pa的真空度,用扩散泵作前级,可得到10-Pa真空度。泵人口安装上钛升华  阴,获得的真空度高于10-Pa  涡轮分子泵对氢的压缩比较小,残余气体中主要是氢。泵的极限氢分压受泵的压缩比和  前级管道中氢分压的限制,采用扩散泵作前级,可降低前级管道中的氢分压,进而可提高泵的极限真空  涡轮分子泵内表面积大,烘烤出气是非常必要的。由于结构限制,一般只允许烘烤到00℃左右  为了消除粗抽时的污染,可以通过涡轮分子泵进行粗抽,在这种情况下,要求机械泵有  足够大的抽速,使涡轮分子泵转速达到额定转速的75%时,就能将真空室抽到20~200Pa  般涡轮分子泵的加速时间为5~10min,这意味着机械泵排气时间必须小于这个范围,  ③溅射离子泵抽气系统溅射离子泵通常与钛升华泵联合使用。溅射离子泵的残气中  主要成分是氢,而钛升华泵抽氢效果最好。一般中小型真空系统以溅射离子泵作主泵;而大  型系统以钛升华泵作主泵。用这种机组可得到10-Pa的真空度  在超高真空系统中,要求溅射离子泵要彻底烘烤。如果真空室已进行了高温烘烤,那么  泵只需要250℃烘烤,真空度到10-5Pa后,缓慢升到250℃,时间为10~20h,  ④低温泵抽气系统低温泵对不锈钢制造的超高真空容器排气很适合。20K的低温泵  可得到10-8Pa的真空度,4.2K的低温泵,可得到10-10~10-12Pa的真空度  低温泵系统不产生碳氢化合物、金属膜的剥落碎片或自身带来的其他污染。在超高真空范围,低温泵是可以取代其他类泵的一种清洁抽气手段