低温泵抽气系统根据抽气机理可以大致分为低温冷凝、低温吸附和兼有两种抽气机理的  制冷机低温泵抽气系统,可根据工艺生产要求选用。例如,用10K以下的低温板和吸气剂,  冷凝、吸附气体分子的小型制冷机低温泵,可以组成理想的清洁无油的超高真空抽气系统  普通碳钢真空泵容器不经烘烤,可获得低于10-6Pa的极限压力。选用不锈钢真空容器,经  300℃、4h高温除气,能获得低于10-8Pa的极限压力。

   超高直空抽气机朋晨重要的设计参数是抽气机组(包括主抽气机组和粗  m)的程限压力、抽气速率、粗抽时间以及对无油洁净度的要求,其次是机组长取  运转的可靠性及寿命,对机组的振动、磁场的要求,操作难易程度以及机组的一在  性投和运转费用等  超高真空抽气机组极限压力是决定真空系统能否满足进行实验或工艺生产是  不的性参数

 阳极筒内的气体分子与旋转的电子碰撞后电离成的离子,在电场力的作用下轰击阴极板,溅射出的钛原子沉积在阳极筒内壁和阴极  板上,形成新鲜的抽气钛朋,如图231所示,气体区∠  离子轰击钛板的同时,被覆射在阳极筒上新鲜钛膜吸
附和掩埋在层内  射离子泵的抽气机理与被抽气体的性质有关  抽除活性气体要比抽除惰性气体容易得多。一般被抽m区  气体大多是混合气体,对这种不同成分的混合气体抽  气完全不同于抽除单一气体,此外,已经被溅射离子  图  极溅射  泵吸附掩理的气体还会再解吸出来,后来的离子轰击  离子泵抽气机理  更加重了这种被抽气体的再解吸。因此溅射离子泵的  抽气机理非常复杂。下面就测射离子泵对几种常见气体的抽气机理进行讨论

真空测量技术具有如下特点:  (1)测量范围宽。真空技术的发展已可获得1.1×105Pa直至10-14Pa,宽达19个数量级  的压力范围。因此不可能依靠一种测量原理和一种真空计来实现整个范围的真空度测量。不同  种类的真空计对应各自不同的压力测量范围,即有不同的量程。  (2)多为间接测量。除了压力较高的真空区域(105~10Pa),采用压力的直接测量外,大  部分低压空间气体的测量都是利用低压下气体的某些特性(如热传导、电离等)进行间接的真  空度测量,

涡轮分子泵属于高速精密机械,叶片转速在6000~60000/min范围,因此性  能优良的分子泵除了内部结构设计外,轴承及装配后的动平衡,就显得特别重要国产分子泵的轴承,大多采用普通高速轴承和陶瓷轴示
理想的空气轴承和磁悬浮轴承摩擦力最小,并且可获得绝对无油的清洁真空
可惜的是,这种动态密封的转动和固定元件之间的间隙在10~20m,所以对固体微粒非常敏感,它要求压缩空气必须精细过滤,所含灰尘粒度不大于3m,含油量不大于5ppm被抽气体中也不能有悬浮的固体微粒。