超高直空抽气机朋晨重要的设计参数是抽气机组(包括主抽气机组和粗  m)的程限压力、抽气速率、粗抽时间以及对无油洁净度的要求,其次是机组长取  运转的可靠性及寿命,对机组的振动、磁场的要求,操作难易程度以及机组的一在  性投和运转费用等  超高真空抽气机组极限压力是决定真空系统能否满足进行实验或工艺生产是  不的性参数,式(54)一式(56)曾探讨了影响系统的极限压力的因素,需要  别提出的是,超高真空容器内的极限压力取决于容器的放气量(忽略漏率影)  图此需要给出什么烤规范(包括烘烤温度,烘烤时间,升、降温速率等)下所B  得的最低压力值、不满足烘烤规范条件,就难以获得给定的极限压力。同时还需  了解主泵的极限压力(至少要比真空容器的极限压力低半个到一个数量级),挡板  冷以及管道流导等因素对真空容器极限压力的影响  超高真空抽气机组抽气速率通常是指真空容器抽气口处的有效抽速,应根器具  供的工件在处理时的工作真空度、总出气流量(包括容器和工件),以及挡板  冷即和抽气管道等与真空泵串联元件的流导来选取真空泵的抽速,对于不同种类的  工件应选取其中出气量和工作真空度要求最高者,同时还应当考虑到批量工件出气  参数涨落及真空泵的不同抽速系列,尽量选取较大抽速的真空泵,一般所选泵的  速应比计算值大30%~50%为宜。
选择超高真空抽气机组另一个重要指标是对洁净度的要求,机组中配置真空的返流物,不仅限制了机组的极限压力,更主要的是对工件的污染,对某些用户来说,使用带有液氮冷阱的扩散泵机组,产生的极少量的扩散泵、机械泵油的污染也会严重影响其产品质量,就必须选择洁净无油的抽气机组。可用做超高真空主泵  的现代真空泵有油扩散泵、涡轮分子泵、溅射离子泵、低温泵以及钛泵等。它们昌  有其各自的独特优点,可根据实验或工艺的特殊要求进行泵的搭配和选择  超高真空机组所选用的阀门、冷阱、挡板和抽气管道,除了要求在烘烤温下  能保持可靠的密封性能外,在分子流条件下还应有足够大的流导,以免过度影响主  泵的有效抽速,除必要的直角管道外,尽可能采用短而粗的直管道。冷阱和挡板应  具有能阻挡二次束流的光学密闭(通过冷阱或挡板的气体分子要求至少碰撞两次冷  板)及防油爬移结构,它们可直接安装在泵与阀门之间,用以降低系统中油的分  压。

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