真空测量的特点及真空计的选用原则 

  真空测量技术具有如下特点:  (1)测量范围宽。真空技术的发展已可获得1.1×105Pa直至10-14Pa,宽达19个数量级  的压力范围。因此不可能依靠一种测量原理和一种真空计来实现整个范围的真空度测量。不同  种类的真空计对应各自不同的压力测量范围,即有不同的量程。  (2)多为间接测量。除了压力较高的真空区域(105~10Pa),采用压力的直接测量外,大  部分低压空间气体的测量都是利用低压下气体的某些特性(如热传导、电离等)进行间接的真  空度测量,因此对相对真空计的校准工作就显得更为重要  (3)通常采用电测技术。由于间接测量的真空计大都采用非电量电测技术,因此测量反应  迅速,灵敏度高,为实现自动化创造条件  (4)测量值与气体种类有关。大部分真空计的读数与被测气体的种类和相关成分有关,因此测量时应注意被测气体的种类和成分,以避免造成误差  (5)测量精度不高。在间接测量压力的过程中,往往需要引进外加能量(如热能、电能  机械能、放射能等等)。由于这些外加能量的引用将不可避免产生测量误差,而稀薄气体所能  产生的测量信号本身很微弱。这就决定了真空计的测量精度远比其他的物理仪器的测量精度  低。因此把真空测量基准仪表和标准仪表的不准确度定为(2~10)×10-2,工作仪表的测量误  差控制在±20×10-2以内是比较确切的  选用真空计时应考虑如下一些原则  (1)所用设备要求的压力范围内,选用的真空计是否有足够的测量精度,整体性能如何;  (2)被测气体能否对真空计造成损伤;  (3)所选真空计对被测的气态空间能否造成影响;  (4)真空计所测的压力值是全压力,还是分压力,是否已校准,仪器的灵敏度是否与被测  的气体种类有关  (5)所选真空计能否实现连续测量,电气指示以及反应时间如何?  6)仪器的稳定性、可靠性、使用寿命如何?
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