制冷机低温泵是把低温面及挡板组装在封闭循环制冷机系统中与制冷机组合为一体的低温  泵,它是利用的低温表面的低温冷凝、低温吸附和低温捕集等物理现象来获得和保持高真空  和超高真空。其特点为:(1)便于抽气系统实现完全自动化控制;(2)可实现较高的抽速,S  100m3/s,可以满足大型真空设备中所需要的抽速。 

   涡轮分子泵的主要优点是能获得具有较为清洁的真空以及对被抽气体化学特性  不敏感。但抽速还不能做得很大。从应用方面来看,分子泵安装、运转时要注意以  下几点。  ①立式和卧式两种分子泵都不能承受稳定的或瞬时的扭矩,进口法兰不能承  受重的真空容器载荷或悬臂载荷,与系统法兰连接时要特别小心时,不能使分子泵  受到大的冲击,否则会损伤转子及轴承。最好是将涡轮分子泵悬吊在容器法兰上,  而不能像扩散泵那样用进口法兰作为系统安装平台。

A油的返流  在旋片泵工作时,油蒸气会逆着气流运动  方向进入泵入口,通过入口管路最终进入被抽  容器。油蒸气的返流量随压力的降低而增加,在极限压力附近时,返流量最大(见图731)返流油蒸气主要由泵油中最轻的馏分组成。
油的返流会污染真空室,影响最终产品的质量,必须加以控制。

  油扩散喷射泵正如前已指出,它在10~10-1Pa压力范围内有较大的抽速,正好填补了
油封机械泵和油扩散泵的中间地带。在某些真空装置中存在着明显的放气使压力可能升高到  13.3~133Pa,同时还要求获得10~10-2Pa的低压。在这种情况下,如用油扩散喷射泵工  作,正好能满足这些要求。因此,油扩散喷射泵被广泛用于真空冶炼的真空感应炉和真空电  弧炉上及真空热处理设备上等。为了能使该泵能正常的运转,需考虑如下问题 

带冷阱的超高真空油扩散泵  ①超高真空油扩散泵不能在大气压下工作,需要用粗抽泵将真空容器的大气  抽至启动压力以下,油扩散泵配置的前级泵,在较低的前级压力下其排气量应大于  扩散泵的最大排气量,用以减少反扩散的概率  ②运转油扩散泵一定要避免处于高温下的泵油与大气接触,否则会发生泵油的裂解、氧化,污染整个真空系统的重大事故。