A油的返流  在旋片泵工作时,油蒸气会逆着气流运动  方向进入泵入口,通过入口管路最终进入被抽  容器。油蒸气的返流量随压力的降低而增加,在极限压力附近时,返流量最大(见图731)返流油蒸气主要由泵油中最轻的馏分组成。
油的返流会污染真空室,影响最终产品的质量,必须加以控制。防止油返流的措施主要有
(1)在泵入口管道上设置放气阀,使入口  压力维持在10Pa或更高,这样可以减小返流  98%
(2)对于单级泵,在泵运转时打开气镇阀就能很好地防止油的返流。  (3)在泵入口设置吸附阱,依靠吸附剂吸附返流蒸气。粒状活性氧化铝可以吸附99%的  返流油蒸气。这种吸附阱需定期更换吸附剂,以防吸附材料吸气能力达到饱和而失效。  (4)使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很小,但由于价格较贵,因此影响到它的广泛使用  B泵的启动与停止  通常旋片泵由三相交流电机驱动特别注意电源线的连接,以保证旋转方向的正确,否则  泵油将被排到真空室。因此泵应设置反向制动以防止泵的反转。当电源线接错时,泵不能启  动。为防止电机烧坏,还应设置过载开关,通常为温控开关。  停泵时,出口空气的压力将使泵反转,会使泵油返到真空室中,空气也会进入真空室破坏  真空。因此需要特殊的阀门把泵和真空室隔开,以防止空气和泵油进入真空室。图7-32的保  护阀置于泵入口管道中,其作用为:当泵断电或控制开关断开时,关闭泵与真空室之间的管  道,并且向泵入口放气。这种保护阀通常为电磁放气阀。它与电机电源连在一起,控制空气的  进人。电机断电时,电磁阀打开,靠大气与泵入口的压差关闭泵与真空室之间的通道,然后大  气进人泵入口。泵启动时,电磁阀关闭,泵对保护阀抽空,阀板靠弹簧压力打开。在一般的旋  片泵中,常常在泵入口内设置有空气隔离阀,起到上述保护阀的作用,这时在入口管路上就无  需设置电磁放气阀了。  C泵油的过滤和更换  为防止泵油中的粉尘、颗粒物质随泵油一起进入泵腔,在泵运转过程中应设有连续过滤  装置。图7-33是油过滤器结构简图。过滤器与泵之间由同轴套管连接。当泵转动时,泵油  靠大气与泵腔内的压差或由独立的油泵经外管进入过滤器,过滤后的油经内管进入泵的循环  油路中。过滤器内的过滤芯在油经过时挡住了机械污染物,净化了泵油。过滤器上常常联上  压力表以显示过滤器是否堵塞。当压力增加,油不能正常流动时,即为过滤器堵塞,应更换

清洗过滤芯。  现代旋片泵很少需要经常维护,主要注意油量、油的颜色和状态。一般每周检查一次油  量。泵在高的入口压力或在气镇条件下工作时,每天都要检查油量,因为在此条件下工作,泵  油的损失是比较严重的  换油的时间间隔依工作条件而定。一般因油润滑不良、油分解或污染物太多使泵极限压力  上升时,就需要更换油了  D油雾的产生及分离  在旋片泵排气过程中,悬浮在被抽气体中的油滴随气体一起被排出。因此,常在泵出口看  到“油雾”同时也有少量的油蒸气被排出。随着环保要求的提高,新型旋片泵一般在出口设  置油气分离装置  在被排出气体中的油滴直径大约0.01~0.8m,这样小的液滴不能用一般的编织网过滤,  而是采用特殊纤维制成过滤装置来实现油气分离,其中要有足够小的微孔吸收油雾。分离器的  结构见图7-34。过滤元件置于圆筒油雾分离器之中,被排出气体由泵出口进入分离器,经过过  滤元件的气体到达过滤器出口时,已经得到净化。油在分离器中被收集,收集的油量可由观察  窗看到。当过滤元件被堵时,压力将增加。当压力达到1.5×105Pa时,分离器的安全阀打开,  此时必须清洗或更换过滤元件  E除尘装置  在有些真空工艺中会产生大量的灰尘,这些灰尘将随被抽气体一起进入旋片泵。灰尘混在  泵油中,像研磨剂一样会对泵转子和泵腔造成磨损和破坏。在灰尘量较少时,可以由油过滤系  滤除,但灰尘量较大时,为防止泵损坏,保证泵正常运转时必须使用除尘器

分离器,大颗粒灰尘在此被分离并沉积于外筒室底部。较小的颗粒随被抽气体进入油浸过滤  器。经过充分除尘的气体由出口4或5进入真空泵。

真空泵维修，深圳真空泵维修