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维修资讯 -> 涡轮分子泵操作时盖注意什么事项?
涡轮分子泵的主要优点是能获得具有较为清洁的真空以及对被抽气体化学特性 不敏感。但抽速还不能做得很大。从应用方面来看,分子泵安装、运转时要注意以 下几点。 ①立式和卧式两种分子泵都不能承受稳定的或瞬时的扭矩,进口法兰不能承 受重的真空容器载荷或悬臂载荷,与系统法兰连接时要特别小心时,不能使分子泵 受到大的冲击,否则会损伤转子及轴承。最好是将涡轮分子泵悬吊在容器法兰上, 而不能像扩散泵那样用进口法兰作为系统安装平台。 ②涡轮分子泵是一种高速旋转的精密机械,十分脆弱,不能突然暴露大气 次误操作可能损伤叶片甚至使整个分子泵报废。虽然生 特别是立式涡轮分子泵 产厂家尽量增加叶片的刚度和强度,设置一些自动保护装置,系统漏入大气、前级 压力过高、电机定子或轴承过热、电机电流过载等情况下,都能自动切断电源 保护装置失灵,仍会造成事故。 ③涡轮分子泵轴承润滑油和前级泵油的污染,在某些应用领域仍是急需解决 的问题。轴承润滑多使用增压泵油、仪表油。正常运转时,分子泵对油的压缩比 大,污染较小,但停泵静置期间,油蒸气分子会扩散到被抽系统,在饱和蒸气压 10-3Pa条件下,系统内表面布满一个单分子只需要几秒钟。一旦系统被污染,要 恢复原先的真空度,往往需要100~200℃烘烤后,连续工作几天才能慢慢恢复到 原来的水平。 ④轴承寿命问题。磁悬浮轴承是最有希望的理想轴承,可彻底解决轴承寿命 和油污染的问题。