带冷阱的超高真空油扩散泵  ①超高真空油扩散泵不能在大气压下工作,需要用粗抽泵将真空容器的大气  抽至启动压力以下,油扩散泵配置的前级泵,在较低的前级压力下其排气量应大于  扩散泵的最大排气量,用以减少反扩散的概率  ②运转油扩散泵一定要避免处于高温下的泵油与大气接触,否则会发生泵油的裂解、氧化,污染整个真空系统的重大事故。  ③在整个运转期间,必须注意泵的加热功率和冷却水温,一旦发现出水口水  温过高,应立即重新调节冷却水流量。若遇停水,则应立即切断加热电源,并将加  热电炉移开后用风扇冷却泵体。关闭加热电源停止运转扩散泵后,一般需要继续用  前级泵抽气,直到泵油锅冷却到安全温度,才能停止抽气和关闭冷却水  ④带液氮冷阱的扩散泵超高真空系统烘烤后,应当在冷阱完全冷到室温后  加注液氮。加注前,要把液氮胆内的所有水和蒸气用热风吹干,避免水冻结在冷  阱内。加注液氮时,最好先将少量液氮加入阱的底部,等到系统的可凝物(水  有机溶剂、二氧化碳等)捕集在阱的下部真空度达到高真空后,再逐步加满液氮。  ⑤工艺周期要求长时间运转的扩散泵系统,最好配备自动控制装置,自动控制的主要内容有
a.粗抽泵抽气达到给定的压力时,能自动启动扩散泵
b.系统内压力突然升高到最大允许值时,自动关闭高真空阀,切断扩散泵加热电源并报警;
c.冷却水温过高或中断时,自动切断加热电源并报警
d.控制两只并联的前级泵自动转换成间断工作,确保前级泵不过热。
⑥需要打开容器换取工件时,最好通入干燥热氮气,再次抽气时可降低容器

内材料的出气速率
偶轮分子轰  ①启动因轮分于至粗抽系统要先通冷却水再打开级管道网门,接通吸泵  和涡轮分子泵的电源,轮分子泵达到额定转速的50%以上启动粗抽泵,当容器  机抽到100-150P,就可以关团粗抽国,打开超高真空,切换到队轮分子双上,  对于没有粗抽管道和超高真空阀的轮分千泵的抽气系统,启动时先通冷1  水,打开前级管道阀门,再接通前级泵和涡轮分子泵的电源,若选择前级泵的  速合适,可使粗抽时间和分子泵叶轮加速时间同步,就可以避免启动时前级果油  对容器的污染,如果前级泵抽速过小,它不能在分子泵达到最大转速前把容器从  大气顶抽到切换压力,此时,分子泵的电机过流保护装置就会把分子泵关掉,遇  到这种情况,可果取更换大抽速的前级泵成等到分子泵停转后再重新启动的方法  加以解决,若分子系的抛速过大,容器压力达到切换压力时,分子泵的转速仍然  很低,这时就应当稍微开启容器上的充气阀,控制冲入的干燥的氮气流量使容器  压力维持在200Pa,直到分子泵的转速达到额定转速的80%以上,即可关闭充  ②涡轮分子泵在停机时当叶片转速低于额定转速40%,会出现前级泵油和  子泵的润滑油蒸气返流到分子泵进气口端的清洁区,无论是否有无超高真空阀的分  子泵,停机时转速低于额定转速50%,要从分子泵进气口端(或容器)打开充气  阀放入干燥氮气,直至分子泵停转再关闭充气阀,这样放入的干燥氮气可将油蒸气  冲洗出去
③安装自动启动和停泵的自动控制装置可简化人工启动的繁杂操作,可参考  启动步骤设计启动分子泵控制程序:首先启动机械泵,打开预抽阀和分子泵的前级  管道阀进行抽气,当机械泵抽气管道压力达到200Pa时关闭粗抽阀,启动分子泵  当分子泵达到额定转速后打开分子泵进气口的超高真空阅,切换到分子泵抽气,停  泵程序可按生产厂家提供的有关停泵和放气说明进行停泵程序设计。一般规范是,  首先关掉超高真空阀后关掉分子泵电源,然后打开分子泵进气口端的节流放气阀  并使泵进口压力升到500Pa,当泵停止运转后再停掉机械泵,当泵内压力达到一个  大气压时,关闭放气阀
④采用涡轮分子泵的超高真空系统,要避免突然暴露大气。否则,冲击气流会损坏分子泵的叶片造成事故
⑤对分子泵运转时产生的振动有特殊要求的用户,可将泵与真空容器之间的管道改用波纹管,可明显改善机械振动
⑥分子泵属于一种
⑥分子泵属于一种贮能的高转速精密装置,应当对冷却水、电源、机械损伤  (包括固体尘粒引起的损伤)和扭矩过载等故障设置自动保护装置,确保可靠地安  全运转  6.3.3.3溅射离子泵  溅射离子泵正常工作时不需要前级泵,因而无振动、无噪声,除了对过高的工  作电流进行保护,避免电源过热受损外,不需要其他保护措施。例如突然停电时泵  停止抽气,系统会因漏放气而使压力升高外不会对泵造成任何伤害  离子泵特别适用于工艺周期长的超高真空系统,不宜暴露于大气和频繁地启动
真空技检,转与  和抽除大量的气体,可根据对清洁真空的需求,并联使用分子泵、低温泵、钛升华  泵+分子吸附泵等任何一种泵,用于从大气抽气到高真空阶段抽气(包括烘烤除  气阶段),烈射离子泵仅工作于超高真空,这样就能发挥它的安静、高可靠的独特
小型制冷机低温泵的启动压力受制冷功率限制,不能在大气压下工作,可根据  6.3.3.4小型制冷机低温系  对真空清洁程度的要求,将系统压力粗抽到100-10Pn即可启动制冷机压缩机,  达到规定的制冷时间后即可关闭前级粗抽阀门停止粗抽,打开高真空阀切换到低温  泵抽气,低温泵进气口允许的最高压力称为转换压力(与二级冷头制冷功率和被抽  容器体积有关),应按照厂家给出的转换压力进行操作,过高的转换压力会影响制
小型制冷机低温泵与溅射离子泵相比,启动容易,能抽除大量氢气,不存在高  冷机低温泵的正常工作
压和磁场问题,不会像钛泵那样会产生钛膜剥落碎片的污染。由于膨胀机中的浮塞  的往复运动,会引起轻微的振动,系统配置电子能谱仪、二次离子谱仪和其他表面分析仪时,需要采用有效的减振措施  低温泵进气口冷板温度远低于真空容器的壁温,这种温度场对泵口附近的气体  分子的空间分布有明显的改变,会影响真空计的测量精度,严重时误差接近一倍之  多。同理,不同温度表面蒸发出的分子速度不同,特别是低温面较大的系统(如空  间环模设备)很难阐述系统中压力的确切意义,这是在进行表面分析研究时需要特别关切的问题
低温泵另一问题是制冷机能力有限,容易受长波红外线的辐射影响,试件或生产工艺用加热器进行加热时,对低温表面需设计热屏蔽(如泵口加装水冷挡板等)要求热屏蔽的设计既要具有良好的屏蔽效果又要不使泵的抽速过度降低
使用小型制冷机低温泵最值得注意的问题是停止泵运转时的安全问题。整个运转期间所抽除的气体都被冷凝吸附在泵内,停止运转后随着低温板的升温,被抽气体将全部释放出来,形成的高压气体一旦超过泵体的机械强度,可能发生爆炸事  故。对于小型的超高真空系统,运转时间很短,抽出的气量很少,所有的气量都不  足以形成高于大气压,停泵后可以不用前级泵将释放的气体抽除,等下次启动低温  泵时再预抽释放的气体。如果抽气时间很长,抽气量很大,停泵时必须打开前级泵  抽除释放的气体,直到二极冷头升温到安全温度,才能全部停掉抽气系统。不论何  种情况,都要经常检查维修过压安全阀。

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