扩散泵油的工作温度大都在200℃以上,扩散泵工作时,每一次蒸发冷凝循  环中总会有一些大分子裂解成较小的轻馏分,虽然在真空条件下加热,也总会有
些分子被氧化,这些裂化、氧化的有害产物,如果不  能及时排除,长期积累下去,泵液的性能将逐渐变  坏。为了清除这些有害物,近代超高真空油扩散泵的  加热锅炉都带有分馏装置。

     规管中气体再释放对真空测量的影响  规管中气体再释放对真空测量的影响主要有以下两种形式  (1)气体的热解吸对真空测量的影响。在热阴极电离真空计规管中,高温热阴极本身就是  种气源。它的高温热量辐射到其他电极和规管壁上时,将引起气体的热解吸,此外,棚极接  收电子收集极收集离子,也会因发热使气体解吸。

作蒸汽的品质对喷射泵的实际抽气性能影响较大。蒸汽喷射泵使用的工作蒸汽为饱和或  稍过热。为保证蒸汽系统的供热质量,使抽气系统正常有效地工作,供气系统根据需要设置以  下装置  (1)蒸汽减温或过热装置。对于热网供热(过热度大于100℃),蒸汽需降温使用,因此  在供气管网上要增设蒸汽自动减温装置。对于自备锅炉供气,为保证工作蒸汽具有一定的过热  度,需在锅炉供气管路上安装过热器  (2)汽水分离器。

在高真空区域内,当真空设备内材料的出气可以忽略时,真空室的抽气时间计算与低真空抽气时间计算相同,由于高真空泵抽速较大,这段时间很短。实际上高真空的抽气时间主要取决于材料出气
在刚开始抽气的几十小时内,材料出气率是变量,因而真空室的总出气量随抽气时间而  衰减。计算到达某一压力所需的时间由总出气量和泵(或机组)的有效抽速的比值决定般可用查材料出气率曲线和绘图方法进行计算

射离子泵的放电单元中,从第一个电子到繁流电子密度达到(约1010个电
子/cm3)稳态值的时间r,称为启动时间,它是溅射离子泵的一个重要参数。启动  时间的长短取决于启动压力,在10-1Pa下,放电单元的启动时间为几纳秒,压力  在10-Pa下的启动时间将长达5008,覆射离子泵的放电特性见图241,因此,圆  射离子泵的启动压力不能太高,也不能过低,溅射离子泵启动困难的原因有以下