溅射离子泵的放电单元中,从第一个电子到繁流电子密度达到(约1010个电
子/cm3)稳态值的时间r,称为启动时间,它是溅射离子泵的一个重要参数。启动  时间的长短取决于启动压力,在10-1Pa下,放电单元的启动时间为几纳秒,压力  在10-Pa下的启动时间将长达5008,覆射离子泵的放电特性见图241,因此,圆  射离子泵的启动压力不能太高,也不能过低,溅射离子泵启动困难的原因有以下

几点,
(1)启动压力过高  溅射离子泵正常启动压力要低于10-1Pa。在1~10-Pa压力范围内,阳极单  元放电主要是辉光放电,这种压力下受电源电路的限制,电压很低,启动电流很  大,启动受电源电路的限制。随着压力的降低,从辉光放电逐渐过渡到潘宁放  电,放电电流随压力的降低而下降,电压逐渐恢复到额定值(一般为6~8kV)  高于1Pn启动,必须特别小心,因为高压力下启动,离子流强,使抽气单元发  热,会引起原先吸附在钛膜内的气体大量放出,放气又产生更强的离子流,使抽
气单元温度进一步升高,这样的恶性循环,将会迅速形成阴极“击穿”。即使泵
原先的抽气量较小,放气速率不高,也会因高压下泵的抽速小,造成所谓的“缓
慢启动”。
过高的启动压力,引起泵内部件发热放气造成的启动困难,可用高真空泵作前级泵降低启动压力的办法加以解决。国产溅射离子泵的生产厂家给出的启动压力范  围低于5×10-4~7×10-5Pa。
(2)真空容器体积过大
体积过大引起启动时间过长,可换用抽速更大的预抽泵,必要时在预抽阶段加  热烘烤容器,排除容器内大量出气后再启动离子泵  (3)泵在潮湿大气中停放时间过久
潮湿环境条件,或者泵清洗后首次运转,由于泵内各部件吸收了大量水分,造  成启动困难,解决方法可在预抽气的同时加热烘烤。此外,平时应该注意泵停止运  转期间尽量不暴露大气。若因更换工件短期暴露大气,可用预抽泵抽成低真空
(4)预抽机械泵油污染
前级机械泵的油蒸气污染了钛阴极板也会使启动困难。可在大气中加  热,400℃烘烤2h,清除油污染物。最好的方法是尽量采用无油前级泵作预