在高真空区域内,当真空设备内材料的出气可以忽略时,真空室的抽气时间计算与低真空抽气时间计算相同,由于高真空泵抽速较大,这段时间很短。实际上高真空的抽气时间主要取决于材料出气
在刚开始抽气的几十小时内,材料出气率是变量,因而真空室的总出气量随抽气时间而  衰减。计算到达某一压力所需的时间由总出气量和泵(或机组)的有效抽速的比值决定般可用查材料出气率曲线和绘图方法进行计算
例如:计算抽到压力p需要的抽气时间步骤如下。
①计算真空室平衡压力为p时的出气量Q,其值等于泵(或机组)在压力为p时的排气量,即
Q=pS(Pa·L/s)
②计算真空室中材料表面积为A的平均气速率q,即
q=Q/A[Pa·L/(s:cm2)]
③根据材料出气率曲线,查出q的点,与此点相对应的时间,即为达到平衡压时所需要的时间
计算举
碳钢制作的真空室放置实验用铜板,钢和铜的面积各为4×104cm2,用有效抽速为103L/s的高真空机组抽气时,室温下要获得5×10-Pa需要多少时间(漏气可以忽略)?
方法:①计算真空室的平衡压力为5×10-4Pa时允许出气量
Q=pS=5×10-4×103=5×10-(Pa·L/s)
②计算钢板和铜板两者的平均出气率
Q5×10
A8×104  6.25×10-6[Pa·L,(s·cm2)]=6.25×10-5[Pa·m3/(s
③作碳钢和铜板两者叠加后的平均出气率曲线(图3-10)。
①查曲线图3-10得:出气率为6.25×106Pa·L/(s·cm2)时的出气时间为0.4lh这一时间就是所求的抽气时间。
说
①真空室只有一种材料时,不需要作叠加曲线,只需查出气率曲线即可
②当材料种类很多时,可将出气率很小(或面积很小)的某些材料的出气忽略不计

 
只需作几种出气率大的材料的出气率的叠加曲线,以使
计算简化  ③当材料面积不等时,可按材料面积倍数作叠加  线,如上例中,假如碳钢的表面积为铜板面积的20倍  碳钢出气率则应增加20倍,以此作出叠加出气率曲线  (3)几种典型真空度抽气时间  真空室内压力降到初始压力的1/2、1/10和  (e=2.718,1/c=0.368)的抽气时间用下列公式计算
降至初始压力的1/2时的抽气时间
V  6)
降至初始压力的1/10时的抽气时间
10=2.303s  (3-17)
图3-10碳钢、铜板及叠加后
的出气率曲线  降至初始压力的1/e时的抽气时间(称为时间常数)  1一碳钢的出气率12一铜的出气率
3一叠加后的平均出气率
式中V—真空室的容积,L;
S—泵(或机组)对真空室抽气口的有效抽速,L/s