20K的低温表面黏的活性炭能有效地冷凝吸附氢、氖  气容量很小,需要抽除大量氮气的低温泵,应该使用4.2K的液氮低温泵,不能用  气氮低温泵,液氮低温泵还具有无振动,无磁场的突出优点,可用于与化学分析电  子能仪或二次离子质谐仪一类的灵敏的表面分析设备。气体制冷机低温泵的活塞  运动产生的轻微振动会影响这种设备的正常运转,因此,用气体制冷机时,必须采
当代小型剧冷机低温泵的应用,日益受到重视,这是由于它具有以下突出 

分子泵的前级泵大小的要求却和扩散泵不  同。扩散泵的正常运转要求前级泵具有足够大的抽速,在最大排气量时确保前级压强低于扩  散泵临界前级压力。涡轮分子泵则要求选择具有足够容量的前级泵,使最靠近前级管道的叶  片在最大排气量时处于分子流或者正好处于过渡流。大多数分子泵的最大稳态进气口压力 

 温度对真空测量  的色直空规管实际使用温度与出厂校准温度不相同,规管温度与被测系统温度不同,被测系  温度不均匀或变化,均会引起被测系统中气体温度变化,影响真空测量结果,引进测量误差  至发生明显错误。设规管出厂校准时的温度为T。(一般为293K),规管现场使用温度为T1  (单位为K),规管的读数压力值为pm(单位为Pa),对应气体的真实压力和气体分子数密度  分别为户和m(单位为m-3),此时被测真空系统中的温度为T2,气体压力和分子密度为p  和n。

  全无油抽气系统,溅射离子泵是最常见一种,它与前面介绍的几种抽气系统最
大的区别是除了粗抽阶段之外,正常运转期间,被抽气体没有排到大气中去,而是  贮存在泵内的钛膜中。操作简便、无振动噪声、无重碳氢化合物污染,若粗抽时采  用吸附泵或无油机械泵,不存在粗抽泵的污染问题,工作时无需前级泵,在超高真  空条件下甚至不需要夜间值班人员就能长期连续运转,因而广泛用于洁净的小型超  高真空装置中

   低温泵的抽速曲线与一般真空泵抽速曲线不同,低温泵在高压力区的抽速大于在低压力区  域的抽速,低温泵冷凝吸附不同的气体时,其抽速特性曲线是不同的,而且实测表明其不同温  度下的吸附等温线也不同,趋势类似,但斜率不同。

图910是 Dawson和 Haygood测得的室温下  CO2在77K低温冷面上凝结的典型抽速曲线,可  对其解释如下  三
开始抽气时,泵人口压力较高,气流量超过  泵的低温冷凝能力,而且由于气体的热传导和对  流传热效应较强,使冷凝层表面温度上升,吸附  几率(凝结系数)较低,并且非凝结性气体在冷  10