温度对真空测量  的色直空规管实际使用温度与出厂校准温度不相同,规管温度与被测系统温度不同,被测系  温度不均匀或变化,均会引起被测系统中气体温度变化,影响真空测量结果,引进测量误差  至发生明显错误。设规管出厂校准时的温度为T。(一般为293K),规管现场使用温度为T1  (单位为K),规管的读数压力值为pm(单位为Pa),对应气体的真实压力和气体分子数密度  分别为户和m(单位为m-3),此时被测真空系统中的温度为T2,气体压力和分子密度为p  和n。在不同的压力范围内,可以按以下公式进行修正。  (1)高压力(A<d)时,系统平衡条件是各处压力相等,即

(10-45  采用直接测压力的直接测量真空计时,规管温度、被测系统温度及规管校准温度各不相同  不引起误差,p1=Pm,不需要修正。而采用测密度的间接测量真空计(热传导真空计和电离  必须修正到校准温度。  真空计)测

(10-46)  (2)低压力(X>d)时,系统平衡时两处的压力和密度都不相等,而是

p  用测压力的直接测量真空计测量时,p=pm,并按上式进行修正。用测密度的间接测量

10-47)  真空计测量时,则要修正到标准温度,此时有

TPm和P2

(10-48)  (3)中等压力~d时,p/Pp2的值处于1和√T1/T2值之间。压力愈低,會近