涡轮泵分子泵抽气机组  图3-24给出的是一个在真空室和分子泵之间设有阀门、冷阱的超高真空系统,其粗抽  管道和前级管道与图3-23扩散泵抽气系统相同。分子泵的前级泵大小的要求却和扩散泵不  同。扩散泵的正常运转要求前级泵具有足够大的抽速,在最大排气量时确保前级压强低于扩  散泵临界前级压力。涡轮分子泵则要求选择具有足够容量的前级泵,使最靠近前级管道的叶  片在最大排气量时处于分子流或者正好处于过渡流。大多数分子泵的最大稳态进气口压力  p约为0.5~1Pa,最大前级压力P前约为30Pa,所以分子泵在最大排气量时的压缩比  (pm/p人)或前级泵的抽速与分子泵抽速之比(S/S人)在30~60之间。要求前级管道氢  分压小的系统,配置的抽速比应为20:1。南国
涡轮分子泵对油脂一类大分子的压缩比较高,属于较清洁的真空泵(又称半无油泵),  不需要液氮冷阱阻止轴承润滑油或机械泵泵液的返流。图中装在真空室和分子泵之间的液氮  阱的主要用途是提高系统对水蒸气的抽速,可以缩短烘烤去气时间。相同的道理,涡轮分子  泵抽气系统不需要粗抽阱和前级管道冷阱,粗抽时需要采用100~1050Pa的切换压力,就  能有效防止机械泵油通过粗抽管道迁移到真空室中去  涡轮分子泵对氢的压缩比和前级氢分压是影响极限压力的重要原因之一。降低前级氢分
压,能够提高涡轮分子泵的极限压力。高压缩比的涡轮分子泵,用两级旋片机械泵作前级  极限压力约为5×10-9Pa,用扩散泵作前级时,可提高到1×10-9Pa,在真空室与分子泵之  间增加一个钛吸附阱或液氮分子筛吸附阱,其极限压力可低于10-9Pa  用于大流量的涡轮分子泵抽气系统,如刻蚀机等需要抽除放入的大量工艺用气体,当进  口压力过高时,气流的摩擦阻力会使转速变慢,将使对氢的压缩比迅速降低。图325是  Hanlon给出的一台前级泵35m3/h,巴尔蔡斯公司抽速400L/s分子泵进口压力与抽速的实  验曲线。入口压力增大到0.9Pa时,曲线出现拐点,采用较大的前级泵,曲线A段将向右  移动,反之将向左移动。避免抽速下降的方法是在泵入口处设置限流阀,根据抽气流量不变  原理,让真空室维持需要的工艺压力的同时,分子泵仍处于全速运转的低压状态