20K的低温表面黏的活性炭能有效地冷凝吸附氢、氖  气容量很小,需要抽除大量氮气的低温泵,应该使用4.2K的液氮低温泵,不能用  气氮低温泵,液氮低温泵还具有无振动,无磁场的突出优点,可用于与化学分析电  子能仪或二次离子质谐仪一类的灵敏的表面分析设备。气体制冷机低温泵的活塞  运动产生的轻微振动会影响这种设备的正常运转,因此,用气体制冷机时,必须采
当代小型剧冷机低温泵的应用,日益受到重视,这是由于它具有以下突出  用有效的防振措施

优点  ①制冷机低温泵的制冷系统可以长期运转,因而能实现抽气系统完全的自

动化  ②与溅射离子泵一样能实现绝对无油(无碳氢化合物)的“清洁”真空,工作压力范围和抽气能力远大于溅射离子泵  ③同样口径的抽气系统中,它的抽速系数是所有泵中最大的。特别是没有泵  壳的裸体制冷机低温泵能直接插入真空容器内,不受抽气管道流导的影响  ④抽速大于10000L/s的真空抽气系统,其投资、运转费用均比带有液氮冷阱

的扩散泵要低。  ⑤制冷机低温泵的体积和重量都较小,并且不受安装方向的限制。运转的可靠性不亚于扩散泵  由于小型制冷机低温泵对H2、Ne、He的抽气容量有限,在某些应用中例如真空镀膜生产过程中产生的H2可能影响它的运转周期。此外,尽量不用于抽除大量氩气,若用于抽除大量氩气时,应采用至少二次光学屏蔽的80K挡板用以冷凝大量氩气,减少氩气进入20K低温板上吸附剂的概率。否则氬气会在吸附剂的微孔表面凝结成固态氩,一旦吸气剂表面覆盖一层固态氩,就只有靠固态氩霜捕集氢、氮,当氬霜的温度高于20K时,氩霜就不能捕集氢,必须对低温泵进行再生,才能恢复泵的抽气性能。