低温泵的抽速曲线与一般真空泵抽速曲线不同,低温泵在高压力区的抽速大于在低压力区  域的抽速,低温泵冷凝吸附不同的气体时,其抽速特性曲线是不同的,而且实测表明其不同温  度下的吸附等温线也不同,趋势类似,但斜率不同。

图910是 Dawson和 Haygood测得的室温下  CO2在77K低温冷面上凝结的典型抽速曲线,可  对其解释如下  三
开始抽气时,泵人口压力较高,气流量超过  泵的低温冷凝能力,而且由于气体的热传导和对  流传热效应较强,使冷凝层表面温度上升,吸附  几率(凝结系数)较低,并且非凝结性气体在冷  10

压力Pa
0凝板附近堆积,对被抽气体形成阻挡层,可凝性  气体必须经过碰撞才能通过阻挡层凝结在冷凝板  上,此时气体分子在冷凝表面(或阻挡层)上的  图910典型抽速曲线(O2在  77K冷面上凝结)
反射数量(N)较大;所以使抽速较低。  随着压力逐渐降低,冷板温度趋于稳定,气体分子的反射量下降,被冷凝吸附的气体分子  数量逐渐上升,即抽速增加。直到某一最大(临界)值。此后,虽然随着气体压力的降低,气  体反射量继续降低,但是因为吸附冷凝层中冷凝的气体重新蒸发的数量增加,而且因压力降  低,单位时间内碰撞到冷凝表面上的气体分子数量下降,使得重新蒸发的气体分子数量大于反  射量减少的数量,所以S下降。在分子流状态下,冷板的吸附能力远大于碰撞到冷板上的气体  分子数量,泵冷板面积一定,抽速一定,与压力无关(见公式14-1)。直到极限压力下(容器  内的压力与凝结物的蒸发压力平衡时),冷凝吸附的气体数量与从冷凝层蒸发的气体数量相等,