排气阀是旋片泵主要易损件之一,将影响  泵的抽气性能并产生噪声。排气阀有两种形式:一种是用  橡胶垫做阀片,如图422(a)所示;另一种是用布质酚醛  层压板或弹簧钢片做阀片,如图422(b)所示。排气阀必  须浸在泵油中。在排气过程中,压缩气体推开排气阀片,  穿过泵油排出,泵油起到密封的作用。

    溅射离子泵不能在高于1Pa压力下启动,必须用预抽泵将泵和容器从大气抽  到泵规定的启动压力以下才能启动。溅射离子泵的预抽,可以采用下面四种  方式。  ①干式机械泵。干式机械泵无油蒸气的污染,用做溅射离子泵的预抽,可获  得全无油清洁的超高真空。但是须要多级串联或相互组合,适用的干式泵的极限压  力见表2-15。  ②油封机械泵加吸附阱或离子阱。前者可以抽到10-2~10-3Pa,后者只能抽  到10-Pa,都能使溅射离子泵顺利启动

B泵的启动与停止  通常旋片泵由三相交流电机驱动特别注意电源线的连接,以保证旋转方向的正确,否则,  泵油将被排到真空室。因此泵应设置反向制动以防止泵的反转。当电源线接错时,泵不能启  动。为防止电机烧坏,还应设置过载开关,通常为温控开关。  停泵时,出口空气的压力将使泵反转,会使泵油返到真空室中,空气也会进入真空室破坏  真空。

设计一套使用方便而又工作可靠的真空系统,选取主泵是个关键问题。选取主泵不能只  选泵及配泵  追求某一项指标,必须根据使用条件多方面综合考虑。真空系统选取主泵的主要依据如下  ①空载时真空室所需要达到的极限真空度  根据真空室所需要建立的极限真空确定主泵的类型,选取主泵的极限真空要比真空室的  极限真空高,通常高半个数量级到一个数量级  ②根据真空室进行工艺生产(或实验)时所需要的工作压力选主泵

2)各种形状和温度的题射屏(液N温度),(3)8→低温介质(液氮)冷却的抽气数圆  D.1.6.1低温冷双果
如图p4所示,低温冷凝泵由三种部件组成  图9-4(n)是第一代泵的结构简图.基木t  液氮容器,底  部作为抽气  锈钢  氮容器包围,冷  抽气面镀银,且挡板
射极小的热辐射  措施,显著地降低了  温表面的热负荷,因而使氢的平衡压强大为降  低。2.3K的镀银低温表面可以获得(9.33±  的氢平衡压强  围以  2.66)X
却挡板  屏蔽时,氢平衡压强趋近于