正宇真空设备
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排气阀是旋片泵主要易损件之一,将影响 泵的抽气性能并产生噪声。排气阀有两种形式:一种是用 橡胶垫做阀片,如图422(a)所示;另一种是用布质酚醛 层压板或弹簧钢片做阀片,如图422(b)所示。排气阀必 须浸在泵油中。在排气过程中,压缩气体推开排气阀片, 穿过泵油排出,泵油起到密封的作用。辅助排气阀的作用 是在入口压力较高、经高真空级压缩的气体已达到排气压 力时,辅助排气阀打开,部分气体由辅助排气阀排出,部 分气体由低真空级抽走,随着入口压力的降低,辅助排气 阀排气量逐渐减少,直至最后关闭 ④气镇阀气镇阀是旋片泵为抽除可凝性气体而设 置的。 原因是:通常,泵抽除的气体多为永久性气体(N2 O2)和可凝性气体(H2O、酒精、汞)的混合物。在压缩
和排气过程中,当可凝性气体的分压超过泵温时该气体的饱和蒸气压时,可凝性气体将会凝结 并混于泵油中,随泵油循环,并在返回高真空侧时重新蒸发变成蒸气。这将影响到泵的抽气性 能,加重泵油的污染程度。气镇法或称掺气法可以有效地防止可凝性气体的凝结,即在压缩过 程中将经过控制的永久性气体(通常为室温干燥空气)由气镇孔掺入被压缩气体中,使可凝性 气体分压达到泵温时的饱和蒸气压之前,压缩气体的压力已达到排气压力,排气阀打开,将可 凝性气体同永久性气体一同排出。因此,油封式机械真空泵普遍装有气镇阀。 气镇阀(掺气阀)是由节流阀和逆止阀两部分组成,其结构如图4-23所示。节流阀控
制掺入气体量,逆止阀防止泵腔内气体压力高于掺气压力时出现返流。气镇孔的位置设置 般有两种:一种是开在泵排气口附近,当压缩腔与排气口相通时,开始掺气;另一种是设置 于端盖上,当吸气终了以后,转子再转过一个角度(100~15°)时,露出气镇孔,开始掺 气。在掺气过程中,泵的极限压力上升和抽气速率下降,如图4-24虚线所示。在低压时, 适当打开气镇阀,掺入少量气体,可以减小泵油冲击排气阀引起的噪声。高速直联泵在高的 泵温(90-100℃)下运行,有利于可凝性气体的抽出 为防止泵喷油、返油、改善泵的润滑条件,扩大泵的使用范围,旋片泵还配有多种附 件,如油雾捕集器、分子过滤器、尘粒过滤器、化学过滤器等。随着技术进步和工艺要求的 提高,旋片泵的结构更趋完善,性能将进一步提高,应用更加广泛