溅射离子泵不能在高于1Pa压力下启动,必须用预抽泵将泵和容器从大气抽  到泵规定的启动压力以下才能启动。溅射离子泵的预抽,可以采用下面四种  方式。  ①干式机械泵。干式机械泵无油蒸气的污染,用做溅射离子泵的预抽,可获  得全无油清洁的超高真空。但是须要多级串联或相互组合,适用的干式泵的极限压  力见表2-15。  ②油封机械泵加吸附阱或离子阱。前者可以抽到10-2~10-3Pa,后者只能抽  到10-Pa,都能使溅射离子泵顺利启动

③干式机械泵加钛升华阱。先用干式泵或机组抽到0-1Pa,关闭阀门并停止  抽气,然后启动钛升华泵,一般只需2~3min,就能将几十升的真空容器抽到  关掉钛升华泵后,再启动溅射离子泵  ④有液氮条件下,可采用油封机械泵加液氮挡板。虽然不能做到完全无油  但是由于预抽时间很短,油的污染可以忽略不计。启动快,使用方便。

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