正宇真空设备
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2)各种形状和温度的题射屏(液N温度),(3)8→低温介质(液氮)冷却的抽气数圆 D.1.6.1低温冷双果
如图p4所示,低温冷凝泵由三种部件组成 图9-4(n)是第一代泵的结构简图.基木t 液氮容器,底 部作为抽气 锈钢 氮容器包围,冷 抽气面镀银,且挡板
射极小的热辐射 措施,显著地降低了 温表面的热负荷,因而使氢的平衡压强大为降 低。2.3K的镀银低温表面可以获得(9.33± 的氢平衡压强 围以 2.66)X
却挡板 屏蔽时,氢平衡压强趋近于
图94低温冷凝泵 10-:如果把挡板温度降至64K,则可获得
1-冷凝面,2-人字形挡板;3-法兰 1.33×10-lPa
4一双层外套,5一箔,6一辐射屏 另一种方法是在镀很表面上预先冷凝一层 Ne、Ar、O2等气体,则可以获得1.33×10-10Pa的氢压强;如果再把周围的挡板降至78K和 64K,则可分别测得10-1和10-12Pa的氢压强 冷凝面下边的挡板有两个作用:(1)减少室温对冷凝面的热辐射;(2)气体分子通过它被 冷却后再打到冷凝面上,可凝性气体被冷凝在它上面;不可凝性气体则被预冷,从而减少了对 低温冷量的消耗。因此要求它对气体的传输几率尽可能大 该系的另一特点是除底部外,液氮容器壁的其他面做成双层。冷却期间夹层空间抽成真空 以绝热。该泵的缺点是液氮损耗较大。有80%以上的液氦消耗于液氮保护壁的热辐射 图94(b)是对图94(a)进行了改进的第二代泵。基于上述缺点,该泵在液氮双层壁和 液氮容器之间附加一个辐射屏,固定在液氮容器的颈管处,并被排出的气体冷却。屏内壁涂
在给定的抽速下,由于图94(b)所示结构的泵降低了热负荷,当不考虑液氮的传导损失级,因而使4.2K液氦的保存时间,即泵的工作寿命得到延长 9.1.6.2低温吸附泵 利用低温表面上的吸附剂和打在其上的气体分子发生吸附而达到抽气作用的泵。根据所用 吸附剂不同,又可分为三种类型:(1)非金属吸附剂泵:以活性炭、分子筛等为吸附剂。(2) 金属吸附剂泵:以蒸发或升华在冷面上的钛、钽、钼等金属或其合金为吸气剂。(3)气体霜吸 附:以二氧化碳、水蒸气等易冷凝的气体在低温表面成霜作为吸附剂(也有类似吸附剂一样的 吸气作用)。它是靠低温捕集作用抽气。
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