转子和旋片转子和旋片是旋片泵的核心部件。转子结构有三种形式：整体式、压  套式和转子盘式。其中，整体式结构加工件和装配量少，但旋片槽加工较困难，难以达到高  精度，较适于大泵。 

    磁偏转质谱计是利用离子在垂直于磁场的平面运动中，不同质量的离子有不同  偏转半径的原理来实现质量分离的。用于真空测量的磁偏转质谱应具有体积小、真  空性能好、便于真空系统安装等特点，其结构通常选用60°、90°、180°三种偏转角  形式。图4-14所示为180°磁偏转质谱计结构原理  具有质荷比为m/e的离子从离子源引出，经加速电压U加速后，以一定速度v

    全无油抽气系统,溅射离子泵是最常见一种,它与前面介绍的几种抽气系统最大的区别  除了粗抽阶段之外,正常运转期间,被抽气体没有排到大气中去,而是储存在泵内的钛限  中。操作简便、无振动噪声、无有重碳氢化合物污染,若粗抽时采用吸附泵或无油机械泵  不存在粗抽泵的污染问题,广泛用于需要洁净的小型超高真空装置中。