往复真空泵的工作原理如图4-1所示。主要部件是汽缸1及在其中做往复直线运动的活  塞2。活塞的驱动是用曲柄连杆机构3来完成  除上述主要部件外还有排气阀4和吸气阀5。  运转时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆  机构的作用，使汽缸内的活塞做往复运动。当活  塞在汽缸内从左端向右端运动时，由于汽缸的左  腔体积不断增大，汽缸内气体的密度减小，而形  成抽气过程，此时容器中的气体经过吸气阀5进  入泵体左腔，当活塞达到最右位置时

二极溅射离子泵对氩的抽速不仅特别低，而且还有上述的氩的不稳定性，这主  要是二极泵溅射区与抽除惰性气体的掩埋区在同一块阴极板上，被掩埋的惰性气体  属于物理吸附，很容易被后来的离子再轰击出来。为了克服二极溅射离子泵的缺  点，在二极溅射离子泵的结构上作了一些改进，发展出各种不同于二极泵结构的多  极多电位溅射离子泵

       其他超高真空热阴极电离计  4.2.3.1抑制规  抑制型电离真空计是通过安装在离子收集极附近的抑制电极，使离子收集极发  射的光电子返回到它自身，来降低X射线极限值的一种热阴极电离真空计。抑制  规规管结构如图4-2所示，由阴极、加速极、离子收集极和带屏蔽罩的抑制极(屏  蔽极)组成。

1泵及其四周环境应经常保持清洁。 

 2.泵在运转过程中应保持油箱内油量不得低于油标中心。 

3不同种类和牌号的真空泵油不可混合使用。 

4.泵在使用中温升不能超过70℃。