其他超高真空热阴极电离计  4.2.3.1抑制规  抑制型电离真空计是通过安装在离子收集极附近的抑制电极，使离子收集极发  射的光电子返回到它自身，来降低X射线极限值的一种热阴极电离真空计。抑制  规规管结构如图4-2所示，由阴极、加速极、离子收集极和带屏蔽罩的抑制极(屏  蔽极)组成。工作时抑制极约为一600V电位，建立对电子的拒斥场，迫使收集极  发射的光电子返回收集极从而减小光电流本底。屏蔽盒的作用可以阻挡X射线对  离子收集极的照射，屏蔽盒和离子收集极都为地电位，它和栅极构成静电透镜对离  子起加速和聚焦作用，将离子引入到收集极。屏蔽盒对收集极也起到屏蔽作用，减
小环境对静电计的电干扰，有利于小电流测量。抑制规的测量下限可达到10-10Pa。  抑制规的电参数一般为：加速电压VA=200V;阴极对地电压VK=25V;抑  制电压Vs=450V;收集极和屏蔽罩电位为零；灯丝发射电流1=2mA;规管系数  为0.12Pa-1

     弯注抑制规  弯注抑制规如图4-3所示，由阴极、电子加速栅极(加速极)、离子聚焦极  辅助阳极、抑制极、离子收集极、内偏转极、外偏转极和屏蔽罩组成。由阴极、电  子加速栅极构成规的电离系统和由屏蔽罩抑制极和离子收集极构成离子收集系统。  在电离系统和离子收集系统之间，设置了一个90°离子偏转系统，偏转系统包括聚  焦极，内、外偏转极。  规的工作原理为：规管内被测气体分子在栅极框被电离为正离子，离子被离  子聚焦极引出并聚焦后经静电偏转系统偏转90°后进入离子收集系统。该结构使  加速极产生的软X射线不能直接照射到收集极的表面，同时X射线的反射部分  也因经过多次来回才能抵达而大为减弱。另外，由于有屏蔽罩和抑制极的存在，  还可以对小部分软X射线引起的光电流进行抑制，使光电流的影响进一步减小  在理论上弯注抑制规的测量下限比抑制规低两个数量级，达到10-12Pa。但由于  高温灯丝存在，阴极的蒸气压和出气速率都可能影响小于10-1Pa压力的获得。  此外，极间电极漏电及弱电流测量等问题，弯注抑制规的实际测量下限为  10-1Pa。辅助阳极的作用是供偏转电极进行电子轰击除气而用。除气功率约为  700V×200mA。  目前，弯注抑制规是极高真空规中最好的一种规型，性能稳定可靠。在没有极  高真空校准系统条件下，大都以弯注抑制规的读数作为压力参考值。  弯注抑制规的电参数一般选择为：加速电压VA=200V;阴极对地电压VK=  25V;VD=-340V;Vn1=-450V。Vc=Vsh=VE=0(地电位)。灯丝发射电流  I=2mA;规管系数为0.15Pa-1。

调规是在BA型规管的加速栅网框中设置  4、2.3.3调制规  图44所示，改变调制极电压便可通过它对离子了。s  根和离子收集极平行的金属杆作为调制极  如
流的影响，借助于计算消除软X射线产生的光电  流，求得真实的离子流。这种方法是列海德  oooooooo

( Redhead)于1960年首次提出的。  调制极可调为两个工作状态：加速极电压工  M  作状态和收集极电压工作状态。在调制极调到加  速极电压时，调制极不能收集到任何正离子。离  图4-4调制规原理子收集极电流1由正离子流1+和软X射线产生  阴极；A一加速极；S抑刮极
C离子收集极；M—调制极的光电流Ix两部分组成。
1=1++Ix  (43在调制极调到收集极电压时，调制极收集到一部分离子流，收集极只能收集到份离子流+,收集极的电流I2为
+ Ix
式(4-3)一式(4-4)可以得出
1=(1-12)/(1-3)  (4-5)
B可以在较高压力(10-Pa)条件下通过测量Ix高)、(高)计算出来。在较高  压力条件，测量的离子流I>I2,因此Ⅰ2可以忽略。式(4-3)、式(4-4)可以化  为：1(高)=1;1高)=B+。故B值可以得出
B-12(高)/I1(高)  (46)  调制方法可以将测量下限扩展约一个数量级，最低可以测量10-10Pa。为了词  制方便，也可以在调制极上施加交变的调制电压(方波或正弦波),利用锁相放大  器进行离子流放大，消除人工调制带来的读数误差。简单的调制方法可存在较大的  误差，其原因是调制极处于加速电压时，调制极本身也要产生X射线，在收集极  上将收集到附加的光电流，而附加的光电流在计算时并未考虑。  4.2.3.4分离规

    分离规  分离规的离子收集极为外收集式的规管，图45所示为带调制极的分离规的结  构。电离系统包括环状阴极、加速栅极，环形阴极绕栅极安装。离子收集系统由离  子收集极、离子反射极和屏蔽极组成。离子收集极为很短的细丝，处于屏蔽罩小孔  下方，在离子收集极周围安装离子反射极。在栅框顶端安置调制极。  工作原理：阴极发射出电子在加速电压作用下进入栅极框，在栅极框空间内形  成电离区而产生离子。离子收集极在电场作用下，将电离区产生的正离子从屏蔽罩  的小孔引出并由带正电位的离子反射极反射，聚焦到离子收集极达到提高灵敏度的  目的。屏蔽罩对栅极产生的软Ⅹ射线对收集的照射进行屏蔽。由电子轰击栅极端  产生的软X射线受到小孔的限制，照到离子收集极上的立体角很小，也相应地降  低光电流本底。图45所示带调制极的分离规压力测量下限可以低于10-1Pa。主  要工作参数为：VA=305V:VK=VM=Vs=25V(对地);Vc=0V(地电位);  I=1mA;规管系数K=0.1Pa-1
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