全无油抽气系统,溅射离子泵是最常见一种,它与前面介绍的几种抽气系统最大的区别  除了粗抽阶段之外,正常运转期间,被抽气体没有排到大气中去,而是储存在泵内的钛限  中。操作简便、无振动噪声、无有重碳氢化合物污染,若粗抽时采用吸附泵或无油机械泵  不存在粗抽泵的污染问题,广泛用于需要洁净的小型超高真空装置中。它的主要问题是抽气  容量问题,由于气体是以吸附在钛膜内方式,理论上泵的寿命与工作压力成反比,因此它的  长期工作压力越低,寿命越长,工作在10-2Pa的寿命是10-Pa的寿命的百分之

其次  是泵的磁场问题,需要用于对磁场有限制的场所,就需要对其磁场进行屏蔽  图326是用于表面研究的溅射泵吸附泵组成的无油超高真空系统。

 
为了弥补溅射离子泵的抽速小、容量有  限的缺点,采用溅射离子泵与钛升华泵组成  抽气机组。主泵是钛升华泵,吸气面用液氮  冷却,钛升华泵可直接装在真空室内,也可  以向图中所示的将钛升华泵与溅射离子泵并  联(或串联)在一起。真空室1用不锈钢制  m,容积100L,  成,直径45

高  法兰采用铜垫圈密封,粗抽用三个分子

筛泵  及无油机械泵。系统用无油机械泵从大气抽  到10~100Pa,然后启动分子筛吸附泵预抽,  图3-26溅射离子泵-吸附泵抽气系统  1真空室;2一无油机械泵;3一分子筛吸附泵;这种方法比较经济,并且能够极大地缩短预  射离子泵钛升华泵
抽时间。也可以使用分子筛泵直接从大气预  抽,但是需要更大容量的吸附泵,还需要采用二级或三级吸附抽气。二级抽气方法是先用  级从大气粗抽到1000Pa,关闭一级吸附泵,再用二级泵抽到0.4~0.2Pa。三级抽气是第

 
3.5超高真空系统及抽气机组((11  级抽到3000~5000Pa,第二级抽到15Pa,第二级抽到0.1Pa。通常当真空室达到5×10-1  Pa时就可以关闭分子筛吸附泵启动钛升华泵,当真空室压力降低到5×10-2Pa时就可以启  动离子泵。  根据工艺流程中的工作压力尽可能让离子泵工作在10-3Pa或更低的压力下,这样能够  大大延长离子泵的使用寿命。在钛泵工作期间,可根据气流量采用连续蒸发或断续蒸发,  般说来,高压力下需要连续蒸发,低压下(例如10=5Pa)可以断续蒸发,随着压力降低,  蒸发时间间隔可以不断加长,直至关闭钛泵,让离子泵单独工作  图中的真空系统典型的运转数据为:真空室200℃下烘烤3.5h后的真空度为10-8Pa  抽气30h后达到的极限压力<1×10-8Pa。
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