超高真空阀门(或称可烘烤真空阀门)与高真空阀门的区别是阀门暴露于真空  中的所有结构材料应有足够低的蒸气压并能承受高温烘烤。为此,阀杆的传动密封  通常采用波纹管密封,金属波纹管传动方式可根据需求参考图3-19进行设计,漏  率要求小于1×10-6Pa·L/s。波纹管每节的伸缩量很小,应尽可能选择移动行程  短的阀门启闭结构,减小波纹管体积和材料出气速率,对于长行程的间门可采用焊  接波纹管,它不仅价格昂贵,而且占有庞大的容积,

     将金属加鸡到足够高的温度·内部电子的能量随  热电子发财现象可利用如图42所示的实验装置进行观称,射就叫做千子的  量足以克面表面势坐面由金属体内进入真空,这样用到的化子为明  将图中玻壳内抽成真空,并在其中装上平板阳极A  和金属丝做成的阴K,给阴极接上电源而通过电流使阴  段加热,则毫安表指出阴极阳极线路内有电流通过。显  然、这个电流是由高温的阴极发射电子并且电子向着具有  正电位的用极运动面引起的。

电源和控制系统  离子束刻蚀机的电源和控制系统包括离子源电源、工件台电源、工件台步进电动机驱动  器(用于平移工件台)和力矩电动机驱动电源(用于旋转工件台)、快门时间控制器及主机  电控部分。