我们在真空泵维修的时候要需要弄清楚真空泵油路的来龙去脉，以及油位的调节系统，以E2M80为例，油箱内的油通过端盖油孔通往泵浦，侧面端盖和腔体面之间有个调节针阀。如果油路调节不当时，就会影响真空泵度的升降。要是泵浦之间的装配配件间隙控制合适，供油量过大就会使真空度下降，要是轴和套间隙大一点，

在热阴极电离规的结构  中,约150V电压加速的电子碰撞到帮极上,栅极将产生软X射线,其波长不短于  100A(1A-10-1m).软X射线照射到离子收集极时,将导致收集极发射光电子,  其效果等效于收集很收集到离子流Ix,Ix实际上是和压力无关的虚假的离子流  (以区别于反映和压力有关的真实离子流),因此在测量电路上测量到的离子流包括  实际离子流l和虚假离子流Ix两部分,显然Ix限制了热阴极电离规的测量下限  x和加速电压V、电子电流以及离子收集极受X射线的照射面积P有如下  关系

低温泵的抽速  2.4.4.1低温板冷凝气体的理论抽速  低温泵的抽速,可根据气体分子运动理论计算。条件是真空室容器内处于热平  衡状态,也就是说,只适用于低温板面积比真空容器表面积小的情况下。对于大型  设备(例如环模设备),通常把低温板放在真空室内,把低温板做得比容器的表面  大,这种状态破坏了热力学平衡。下面仅讨论处于热平衡状态下低温泵的理论  低温板温度为T,低温板单位面积的理论抽速S等于空间气体分子在低温板单  位面积上冷凝而减少的体积与时间之比。若气体分子全部冷凝在低温板上(冷凝系

    往复泵工作环境要保持清洁、干燥,温度变化不大。冬天环境温度如果低于5℃,停车  将冷却水套里的水放出,以免温度降到0℃时冻裂泵体。往复泵只能抽清洁干燥的空  气,往复泵的典型结构如图42所示。往复泵在启动时应检查其旋转方向是否正确。运转  100h后,须检查活塞环、导轨、气阀、轴承、十字头及密封圈等摩擦部分的易损件,如有  磨损,应及时修复或更换  当往复泵运转2500h后,一般应拆开检修一次。泵拆开后,用清洁汽油或丙酮清洗零  件,修理或更换已损坏零件。