液环泵按不同结构可分成如下几种类型  (1)单级单作用液环泵。所谓单级是指只有一个叶轮,单作用是指叶轮每旋转一周,吸  气、排气各进行一次。这种泵的极限压力较低,抽速和效率也低。  (2)单级双作用液环泵,单级是指只有一个叶轮,而双作用是指叶轮每旋转一周,吸气  排气各进行两次。在相同抽速条件下,双作用泵比单作用泵可大大减小尺寸和重量。由于工作  腔对称分布在轮穀两侧,这样就改善了作用在转子上的载荷。但是,这种泵有些零件比较复  杂,加工较困难。但它的抽速较大、效率较高、极限压力也较高  (3)双级液环泵。双级液环泵大多数是由单作用泵串联而成。这种液环泵实质上是两个单  级单作用的液环泵的叶轮共用一根心轴连接而成。它的主要特点是在较低的压力下,仍然具有  较大的抽速,工作稳定。

这几个抽速系数对聚的抛速率影响还是很人的  当泵的吸气量为零时,泵入口的压力值称为极限压力。通常滑阀式往复泵真空度较  固定阀的往复泵真空度较低,这里以固定环状阀立式往复泵为例,讨论影响真空度的  (2)极限压力  ①减少吸、排气阀的阻力损失。吸、排气阀的阻力损失愈小,则泵的耗能小、温升小  解决办法  可提高相对容积系数λ,降低泵的极限压力。具体措施是  a.设计超薄型气阀、阀盖、阀座,减薄之后减小了气道长度,缩小了流动阻力,减  了阀孔造成的余隙容积。  b.尽可能设计大直径的气阀,以增大气阀中气流通道面积,减小阀隙气速,日本规  设计真空泵气阀的流速c<30m/s。气体流速为

油扩散泵的结构形式和特点  油扩散泵的主要结构部件有泵体、喷嘴、冷却帽、蒸气流导管和加热器等。现代的油扩  散泵都是做成多级的。在多级结构中利用伞形喷嘴和喷射喷嘴组成泵的导流系统。  (1)泵体  扩散泵的泵体结构示意图如图4-90所示  对于一般的扩散泵,泵体多做成直筒形,对于大型泵,也有用锥筒形或凸腔形泵体。由  于圆筒型泵形便于加工,所以目前应用较多  泵口直径D<250mm的泵体用圆简形无缝钢管做成,大型的泵体用4~10mm的钢板  卷成后焊接而成,焊缝不能漏气,泵内壁应抛光镀镍:

  EH1200罗茨真空泵的使用与维护  (1)EH1200罗茨泵的启动的程序  EH1200罗茨泵的启动应按产品说明书规定的程序进行操作。一般的启动程序应为  ①通冷却水,检查油杯、齿轮箱和前端盖内是否有足够的润滑油。  ②启动前级泵。有旁通阀的罗茨泵可同时启动。无旁通阀的罗茨泵,可看其联轴器是  否转动,从转动到不转动后即可启动EH1200罗茨泵。

主容器包括中壳和容器外壳两部分,由不锈钢制成。外壳尺寸为中400mm×500mm  其结构为夹套式,用以储存液氮。在极高室内部和外部各装一个钛钼合金丝升华泵。在该室  出口装有百叶窗障板。测量用裸BA规和裸弯注规亦装在极高室内。  烘烤系统包括管状加热器和空气加热器两部分。前者用来加热外壳、中壳和极高真空  室,后者用来烘烤主扩散泵上面的液氮冷阱  冷却系统由氟里昂制冷系统和开式液氮供给系统构成。前者冷却主扩散泵上面的障板  后者可连续向大冷阱、内壳液氮盘管和极高室液氮储槽内输入液氮。  抽气系统包括两个互相独立的分系统:“夹层”抽气系统、“隧道”抽气系统和主抽气系  。“