(1)按控制系统的结构分  ①开环控制系统。是指系统的输出量对系统的控制作用没有影响的系统,其原理如
6-1所示。例如:真空泵的控制即为这类系统。开环控制的缺点是控制过程受到各种扰动因  素影响时,将会直接影响输出量,而控制系统能自动补偿。  ②闭环控制系统。若系统能够对被控制对象的输出信号(被控制量)进行连续测量,  并通过反馈环节反馈到控制装置输入端,与输入信号(给定值)进行比较,形成偏差信号。 

扩散泵的加热功率对泵的极限压强、抽气速率、前级耐压和抽气量等性能参数  影响较大。图2-17给出了这些影响数据曲线  般说来,油温、前级极限压力、抽气量都随着加热功率的增加而增加,但过  高的加热功率反而使抽速降低,这是因为过高的蒸气分子密度降低了入射气体分子  的扩散系数和蒸气流边层湍流效应的增加以及油的热裂解等原因造成的。

爪式泵有高的容积效率  和内压缩,转子可高速无接触的运转,是实现干式抽气较好的抽气机构,但它也需要多级串联  方能达到所需的极限压力  爪式转子除能压缩气体之外,还有转子自行开闭的阀门作用,即可周期地开闭泵腔的入口  和出口。由于有内压缩和这种阀门作用,可实现高的压缩比和高的容积效率。在功率消耗低的  情况下有较高的抽速。被抽气体的种类对压缩比的影响较小。转子与泵体之间的间隙较大,小  颗粒物很容易被抽除。这种抽气原理的干式泵,目前我国已有多家生产  图7-78所示为全爪式转子的四级泵的结构示意图。

 在真空技术研究中,通过对超高真空系统内残余气体主要成分分析,可以判断  系统是否漏气、漏率数值大小、是否存在由于材料选择不当而造成材料出气、主要  气体来源等,以便正确选择抽气手段和工艺,提高系统的极限压力  残余气体谱获得的最简单方法是将质谱计探头安装在真空系统适当位置,当真  空系统的压力满足质谱计工作条件要求时,利用模拟扫描模式(或棒扫描模式)在  仪器的工作质量范围内,选择适当的参数对系统进行全谱扫描,记录系统残余气体  的全谱图

对各种真空泵的性能,都有规定的测试方法来检验其性能的优劣。真空泵的主要性能有  (1)真空泵的技术术语  极限压力、流量及抽气速率等。除外,对蒸气流泵而言,还有启动压力、何氏系数等名词术  语来表达泵的有关性能和参数。  ①极限压力( ultimate pressure of a pump)  真空与准试验罩检测容器相连:并按规定的条件工作,在不引人气体正常工  作的情况下,趋向稳定的最低压力。