涡旋式真空泵(简称涡旋泵)是近年来开发出的一种新型干式真空泵。它具有如下优点  (1)间隙小、泄漏少,具有较高的压缩比,在较宽的压力范围内有稳定的抽速;  (2)结构简单,零部件少;  (3)工作压力范围宽,由于压缩腔容积的变化是连续的,因而驱动扭矩变化小,功率变  化小;  (4)振动噪声小,可靠性高  由于其性能优越,涡旋泵作为一种新型的无油泵在国内、外真空行业内越来越引起人们的  重视。近来,人们对涡旋式压缩机的研究越来越多。

 

    泵油的返流定义为泵液及其裂解物迁移到真空室的现象。单位时间、单位泵口  面积上返流到被抽容器中泵油的质量,称为泵的返油率,单位为mg/(min:cm2)。  泵油的返流,不仅影响到泵的极限压力,凝结和爬移的油还会对真空室及器件造成
严重的污染。一些不希望油蒸气污染的真空系统  把返油率作为扩散泵的重要指标。实验证实,油蒸  气的返流途径,大致可归纳为如图2-3中所示的五

   爪式泵是为半导体工业发展而研制的,它有如下一些特点  (1)泵腔内无润滑剂,因而无返油现象发生  (2)抽气元件为非接触式的,可实现高速运转(3000r/min)  (3)与被抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损  (4)在泵腔内气流垂直运动,少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除  (5)该泵形式多样,功能可以  包  扩展,泵的主体,带有齿轮、马达  以及气体净化设备,附件有入口处  防返流的阀门,出口处有截流阀
电气监控及报警装置  (6)齿轮和泵轴的下轴承用FFE  油润滑、上端盖内的轴承用PPE油

      超高真空与高真空系统设计有不少相同之处,主要有:管道的流导计算,壳体强度计  算,主泵抽速计算及泵之间匹配选择,真空元件的清洁处理及检漏等  超高真空与高真空系统设计也有许多不同之处:选择真空泵的方法不同,对材料要求不  同,采用了烘烤措施,焊接结构和方法不同,对漏率控制更为严格  (1)材料选择  金属材料都是通过熔炼和铸造得到的,在此过程中,空气中的氢、氧、氮和氧化物不同  程度地溶于材料之中。

    为了满足以平导体、电子工业为代表的最工艺对无川  4.6多级罗  式真空  获得设备得以开  发及广泛应  F式罗真空泵以其抽速大、对工作条件要  较宽松等优点在干泵市场中占有重要的地位  而在于式罗茨泵当中,则是以多级罗茨空  为主  美日等真空技术比较发达的  出多级罗茨泵的系列产品,见图
应用于半导体及化工工业  所谓“多级”是相对于传统意义上的“单  级”罗茨泵而言的,即在转子轴上串联多级罗  茨型转子(如图了65所示为五级转子单联的