真空泵 指的是真空系统的主泵,空载干燥的  真空容器(即真空室)内不放有工作状态的元器件,而且真空容器内的环境是干燥的空气或  气体,它是在主泵经过相当时间的抽气而使真空容器逐渐接近的稳定的最低压力值。显然易  见,真空系统所达到的极限压力是不受时间限制的,真空装置的极限压力越低,标志着该装  置的真空系统设计是合理的,主泵的选择比较理想,是衡量真空装置技术水平是否先进的条  件之一。

由于在真空容器器壁两侧的气体总是存在压力差,所以任  何种类的器壁材料总要或多或少  地渗透一些气体,气体从密度大的一侧向密度小的一侧渗入扩散、通过和逸出固体阻挡层的
过程称为渗透、该情况下的稳态流率称为渗透率  渗透率与气体和材料的种类有关,在真空工程领域中所用的金属、玻璃、橡胶及塑料等对气体来说或多或少都可以渗透。

机组的主泵或主泵进气口以上部分能承受200~450℃高温烘烤。  此外,应当考虑抽气机组的一次性投资、运转维修费用、机组长期连续运转可靠性、寿  命以及操作运转难易程度等。现代可做超高真空主泵的泵种有油扩散泵、涡轮分子泵、溅射  离子泵、低温泵以及钛泵、分子筛泵和非蒸发型吸气剂泵等。它们都有其各自的独特优点,  可根据实验或工艺的特殊要求进行泵的搭配和选择  (1)扩散泵抽气机组  用扩散泵获得超高真空,最有效的方法是在扩散泵抽气口上增加至少两次光学密闭的液  氮冷阱,或分子筛吸附阱,并要求对系统进行严格、规范的高温烘烤技术,其极限压力可以  获得10-8Pa的超高真空。 

真空泵是真空装置获得直空的重要部件,它是产生、改善和维持直空的装置,基本上分为气体传输泵和气体抽集泵两种类型,前者包括容积真空泵和动量传输泵等,容积真空泵利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气,气体在排气前被压缩,这类泵有往复式(如卧式、立式往复泵)、旋转式(如水环泵、旋片泵、滑阀泵)两种;

分子真空泵(简称分子泵)是1913年德国人盖得(W. Gaede)首先发明的.他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基础  然分子泵是一种机械泵、但它已摆脱了那种靠容积变化来抽气的容积泵原理,而是靠高  速运动的刚体表面来携带气体分子实现抽气的一种新型机械直空泵,通常把用高速刚体表面  带气体分子按一定方向运动的现象称为分子牵引,或称为气体的外摩擦输运现象。