泵油的返流定义为泵液及其裂解物迁移到真空室的现象。单位时间、单位泵口  面积上返流到被抽容器中泵油的质量,称为泵的返油率,单位为mg/(min:cm2)。  泵油的返流,不仅影响到泵的极限压力,凝结和爬移的油还会对真空室及器件造成
严重的污染。一些不希望油蒸气污染的真空系统  把返油率作为扩散泵的重要指标。实验证实,油蒸  气的返流途径,大致可归纳为如图2-3中所示的五

种途径  ①泵油沿泵壁表面爬移的冷凝油膜的再蒸发;  ②喷嘴喷出的高速油蒸气碰到泵壁后的反射  ③顶级喷嘴表面的油膜及油滴的再蒸发  ④顶级喷嘴边缘凝结的油滴再蒸发以及该处蒸
气湍流的漫散射;
⑤油膜沿泵壁的爬移  其中,第③、④两项是油蒸气返流的主要途图2-3油蒸气返流示意图径,大约占总返油量的70%。若顶级喷嘴采用螺钉连接,则所占比重增加到75以上。返油率与扩散泵的结构、冷却水的流量、加热功率以及泵油的牌号等有关生产厂家给出的返油率是无挡板泵的入口平面的返油率,而系统设计者关心的是板或液氮冷阱上部的稳态返油率。