为了满足以平导体、电子工业为代表的最工艺对无川  4.6多级罗  式真空  获得设备得以开  发及广泛应  F式罗真空泵以其抽速大、对工作条件要  较宽松等优点在干泵市场中占有重要的地位  而在于式罗茨泵当中,则是以多级罗茨空  为主  美日等真空技术比较发达的  出多级罗茨泵的系列产品,见图
应用于半导体及化工工业  所谓“多级”是相对于传统意义上的“单  级”罗茨泵而言的,即在转子轴上串联多级罗  茨型转子(如图了65所示为五级转子单联的
图704日本ANET株式会社生产  多级罗茨泵  独立的泵腔,各级泵腔之间通过上一级的进气  口和下一级的推气口间的气流通道相连接。各级转子的直径和形状是相同的,而各级转子的  度有时是不同的,向高压侧方向变窄了。为了增加压缩比,使用图7-65所示的气冷式三叶转  子.被抽气体从第一级的进气口进入泵腔,经一级压缩后,通过气流通道进入下一级泵腔中  续压缩,气体经过如此逐级压缩,最后从最后一级的排气口排出。简言之,“多级”就是“多  级转子”,“多级系腔”,“多级压缩

图765五级三叶罗茨型转子轴
多级罗获泵通过多级转子的串联实现多个罗茨泵串联的效果,由于是串联,所以多级罗茨  泵并不能比单级罗茨泵拥有更大的抽速,其理论抽速是取决于第一级的理论抽速。但是,这种  结构却可以使罗茨泵达到很高的压缩比,因此,多级罗茨泵是可以作为主泵直排大气,而无需  再配置前级泵,这样就可以避免前级泵环节给系统带来的油气污染。3~6级的罗茨泵可从大  气压抽到极限压力Pa,如此高的压力差会使转子过热膨胀,而产生卡死现象,所以要在高压  段对转子进行气冷,以控制转子的温度不超过其允许范围。一般的气冷方案是使从各级的排气  口排出的气体流经冷却器冷却,再返回到该级的工作腔中,利用冷却气体来冷却转子。当然  这种冷却方法是要以损失罗茨泵的抽速为代价的。为了防止轴承和齿轮的润滑油向泵腔内返  流,多级罗茨泵的泵腔和齿轮箱之间隔开或用迷宫式结构加以密封,为了提高无油的程度,齿  轮箱也有另外用真空泵排气的情况。