任何材料的新鲜表面能够不断地吸附气体,直到饱和为止,这种吸附现象可根  据作用力的形式分为物理吸附和化学吸附。物理吸附是由范德瓦耳斯力产生,类似  于气体的液化,最低的吸附能量E称为吸附热(在数值上等于分子脱离表面时必  须克服的位垒高度E),一般在10kcal/mol(1kcal=4.18kJ)以下,吸附是可逆  的,气-固分子间不会出现电子转移或波函数的重叠等现象 

将真空系统的压力降低到一定压力(例如降到基础压力)所需要的时间,称之为抽气时  间。抽气时间在真空装置的真空系统中由于它直接关联到极限压力、工作压力性能的好坏问  题,因此,不论是任何真空装置在设计、研制的过程中,都把抽气时问作为装置的主要性能  指标提出来,以此作为验收真空装置主要技术性能之一。

将气体分子解离成离子,并在电场中加速,以一定的能量打在吸气材料上用以  抽除气体分子的泵称为离子泵。普通的热阴极电离规和冷阴极电离规都有抽气作  用,1937年潘宁( Penning)首先观察到受磁场约束的直流放电具有更为明显的抽  气作用,由于这种抽气效应很小,没有引起人们的注意,直到1958年霍尔(Hl)  把几个阳极小筒并联起来,做成第一台有商业价值的溅射离子泵  溅射离子泵属于清洁超高真空泵,没有任何油蒸气污染。

离子束刻蚀机由真空室、工作台、快门、真空抽气系统、供气系统、水冷系统、电源和  电器系统等主要部分组成,图1-1所示为离子束刻蚀机的工作原理图。该机在正常工作  时,首先将真空室的压力抽至2×10-3Pa或更低,再调节Ar气流量,使真空室压力保持  在1×10-2~2×10-2Pa(如需要辅助气体,如O2、CH2等,则可按一定比例与之混合),  然后启动离子源各电源,使离子源正常工作,从离子源引出一定能量和密度的离子束  被中和器发射的电子中和后,轰击工件进行溅射刻蚀。

    当泵的吸气量为零时,此时,泵入口的压力值称为极限压力,通常滑阀式往复泵真空度较  高,固定阀的往复泵真空度较低。这里以固定环状阀立式往复泵为例,讨论影响真空度的因素和解决办法
A、排气阀的阻力损失
吸、排气阀的阻力损失愈小,则泵的耗能小、温升小,可提高相对容积系数Av,降低泵的极限压力。