将气体分子解离成离子,并在电场中加速,以一定的能量打在吸气材料上用以  抽除气体分子的泵称为离子泵。普通的热阴极电离规和冷阴极电离规都有抽气作  用,1937年潘宁( Penning)首先观察到受磁场约束的直流放电具有更为明显的抽  气作用,由于这种抽气效应很小,没有引起人们的注意,直到1958年霍尔(Hl)  把几个阳极小筒并联起来,做成第一台有商业价值的溅射离子泵  溅射离子泵属于清洁超高真空泵,没有任何油蒸气污染。但是,它不能在大气  压下启动,必需配置预抽泵将真空系统内部压力降低到10-1Pa的启动压力以下。  使用常规的油封前级泵或粗抽泵,仍会造成污染,对洁静度要求高的真空系统,只  有使用无油机械泵或分子筛吸附泵,才能实现完全无油的清洁超高真空  溅射离子泵抽除的气体,并不排除到大气中,而是被吸附在泵内。除需要抽出  容器内的大气外,离子泵启动后正常工作时不需要前级泵。没有振动和噪声,清洁  无油,不需要冷却,超高真空下的使用寿命长、操作简便、安全可靠。特别适用于  电真空器件的排气以及其他清洁无油的超高真空系统中作为主抽气泵。缺点是磁铁  体积大、笨重、成本高,价格较高,由于钛的饱和吸附容量的限制,抽气量小,不  适合较高压力下(例如10-2Pa以上)长期工作。此外,更换钛板困难,应用受到  定局限。

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