图777给出了罗茨转子加爪式转子的四级泵和全为爪式转子的四级泵的性能曲线。二者抽速最大值对应的入口压力值不同。二者的极限压力相差不大,均在1Pa以下。罗茨加爪式转子组成的四级泵,其抽气性能较好,由图
7-77可以看出:在入口压力为1~100Pa之间和103~105Pa之间,罗茨加爪式转子的四级泵抽  气性能优于全爪式转子的四级泵。只当入口压力为102~10Pa之间,全爪式转子的四级泵的  抽气性能较好

涡轮分子泵是一组带叶片的分子透平机,通过高速电机带动叶片高速旋转,将  动量传递给气体分子,压缩气体实现抽气。转子速度一般在10000~60000/m  由固体电源或电动发电机组驱动。由于单组叶片对气体的压缩比太小,所以需要  多级叶片串联起来,在各级动片之间交替开槽安装固定叶片。大型泵,交替排列的  动片和定片一般有10~20组,间隙为1mm左右(大型泵为2~3mm)。为了提  的抽气性能,靠近高真空进气口的几级叶片与接近排气口几级叶片形状不同,排

电极引线装置的真空密封由于多采用橡胶密封圈,因此对大电流、高温处应加水冷,  以防止温度过高而破坏真空橡胶圈,影响真空室的真空度  ②真空密封应可靠。导电紫铜棒应当要求有较高的精度和较小的表面粗糙度,并且在  装配时应涂以真空油脂  ③输电线的直径应适当,不应使电流密度过大,以防输电线过热

扩散泵的临界前级压力是指扩散泵排气口允许的最高前级压力。高于临界前级  压力时,返流反扩散增加,泵的抽速降低,达到最大前级压力时,会完全破坏泵的  正常工作。扩散泵的临界前级压力一般在26~40Pa,最大达到100Pa

氟橡胶密封超高真空法兰  上述的金属密封的超高真空法兰对于需要频繁放入大气更换工件的超高真空系  统,每次重新拆装容器法兰由于刀口压痕的不重合或刀口受到损伤,难以确保可靠  地密封,特别是使用一次性密封的金属垫圈,在每次打开容器时,都需要更换新的  法兰密封圈,铝箔密封的法兰,在高温烘烤时往往会因扩散焊而黏附在不锈钢法兰