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图777给出了罗茨转子加爪式转子的四级泵和全为爪式转子的四级泵的性能曲线。二者抽速最大值对应的入口压力值不同。二者的极限压力相差不大,均在1Pa以下。罗茨加爪式转子组成的四级泵,其抽气性能较好,由图
7-77可以看出:在入口压力为1~100Pa之间和103~105Pa之间,罗茨加爪式转子的四级泵抽 气性能优于全爪式转子的四级泵。只当入口压力为102~10Pa之间,全爪式转子的四级泵的 抽气性能较好。 般的无油干式泵和油封机械泵相比,其压缩比较小,要克服高的压力差,向大气直接排 气,还要抽除大量的颗粒物,因此选择有效的抽气机构是非常重要的。爪式泵有高的容积效率 和内压缩,转子可高速无接触的运转,是实现干式抽气较好的抽气机构,但它也需要多级串联 方能达到所需的极限压力。 爪式转子除能压缩气体之外,还有转子自行开闭的阀门作用,即可周期地开闭泵腔的入口 和出口。由于有内压缩和这种阀门作用,可实现高的压缩比和高的容积效率。在功率消耗低的 情况下有较高的抽速。被抽气体的种类对压缩比的影响较小。转子与泵体之间的间隙较大,小 颗粒物很容易被抽除。这种抽气原理的干式泵,目前我国已有多家生产 图778所示为全爪式转子的四级泵的结构示意图。 该泵的主轴为垂直安装,气流可从顶部向底部流动,这样的布置有利于颗粒物及液体的排 放。泵内各级的压力分布如图779所示。第一级的压力比为3,第二级的压力比为5,第三级 的压力比为10,第四级的压力比为7。各级泵腔的抽气容积除第一级较大外,其他各级均相 等。由于抽气过程在各级间隙的返流所处的流动状态的不同,其各级反流情况也不尽相同,各 级所能达到的压缩比也不相同
在中间各级的排气口出现沉积物时,在这些部位上使用可拆的管道,用快速接头连接,不 必拆开整台泵就能对泵清洗。轴承和密封处用水冷却,中间部分用空气冷却。这样可使转子和 体的温差小,与被抽介质接触的表面耐腐蚀转子由马达和齿轮转动,轴承和齿轮处有润
滑。选用一种特殊的活塞环密封装置,以防润滑油蒸气向泵腔内泄漏。该泵四级为层状结构, 检修方便,定位精度高 为了安全运行,泵入口处设有过滤网,灰尘收集器及消声器。 整个泵可装在一个罩内,对其进行吸气,以防被抽气体的外泄。这种泵装有4个小滚轮, 移动方便
真空泵维修,真空泵油