超高真空气体成分分析及分压力测量对真空质谐计的要求  超高真空分压力测量是通过真空质谱计实现的。为了满足超高真空气体成分分  析及分压力测量要求,对常用的真空质谱计的选择、安装及使用提出如下特  ①为了在超高真空或极高真空条件下,能够检测到微量的气体组分,选用的  真空质谱计必须具有足够高的检测灵敏度,质谱计的最小可检分压力技术指标应小  于10-10Pa,为了提高检测灵敏度,通常选用带倍增器离子收集的质谱计;质谱计  的质量范围在1~100或1~50u就够了。在1~4u轻质量范围内,仪器应具有较  好的轻质量测量特性  ②质谱计的离子源最好选用开式离子源并便于电子轰击出气,以减小“记忆  效应”。

   (1)旋片泵的运行及维护  ①泵的启动、停泵通常旋片泵由三相交流电机驱动,要特别注意电源线的连接,以  保证旋片方向的正确,否则,泵油将被排到真空室。因此,泵应设置反向制动以防止泵的反  转。当电源线接错时,泵不能启动。为防止电机烧坏,还应设置过载开关,通常为温控  开关。

①单级单作用液环,所谓单级是指只有一个叶轮,单作用是指叶轮每旋转一周,吸  1)基本类型
气、排气各进行一次,这种泵的极限压力较低,抽速和效率也低  ②单级双作用液环泵,单级是指只有一个叶轮,而双级作用是指叶轮每旋转一周,吸  气、排气各进行两次,在相同抽速条件下,双作用泵比单作用泵可大大减小尺寸和质量。由  于工作腔对称分布在轮毂两侧,这样就改善了作用在转子上的载荷。但是,这种泵有些零件  比较复杂,加工较图难,但它的抽速较大,效率较高,极限压力也较高  ③双级液环泵,双级液环泵大多数是由单作用泵串联而成。

  低温泵长期运转达到饱和容量时,抽速急剧下降,这时就需要停泵升温,使吸  附在低温板上的气体释放出来,恢复原来的抽气性能。升温并用预抽泵抽除释放出  冷凝吸附的气体称为“再生”.再生方式有两种,全部再生(20K和7K低温板升至室温,释放出低温板吸附的全部气体)和部分再生(仅放出77K低温板吸附的气体)
全部再生法有下面几种方式。

工作压力选择得愈接近极限真空,真空抽气设  真  济效率愈低,从经济方面考虑,最好在主泵的最大抽速或最大排气量附近选择工作压  力。一般工作压力多半选择在高于极限压力半个到一个数量级。  需要注意的是:工作压力的确定要考虑抽气时间的问题。