正宇真空设备
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(1)按控制系统的结构分 ①开环控制系统。是指系统的输出量对系统的控制作用没有影响的系统,其原理如
6-1所示。例如:真空泵的控制即为这类系统。开环控制的缺点是控制过程受到各种扰动因 素影响时,将会直接影响输出量,而控制系统能自动补偿。 ②闭环控制系统。若系统能够对被控制对象的输出信号(被控制量)进行连续测量, 并通过反馈环节反馈到控制装置输入端,与输入信号(给定值)进行比较,形成偏差信号。 控制装置偏差信号进行运算(如PID运算),根据运算结果发出信号去控制被控制对象的输 出,使被控制量与给定值的偏差保持在允许范围,整个控制系统形成闭合回路,故称为闭环 控制系统。也称为反馈系结,如图6-2所
闭环控制系统的特点是可以纠正由于不可预测的扰动引起的被控制量大的波动,例如 真空度自动控制系统及连续蒸发镀膜中的恒张力自动控制系统等均为闭环系统 (2)按给定值的运动规律分 ①定值控制系统。是指系统的给定值在系统运行过程中始终或某一要求的时段内保持 恒定的系统,从而使控制量保持恒定或基本上保持恒定。这类系统又称为恒值调节系统。例 如温度、真空度、流量等自动控制系统 所么⊙程序控制系统。是指系统的输出是按预先给定的程序选择系统。例如,真空机组程 动控制系统等 ③随动系统,也称为伺服系统或跟踪系统。其给定值随时间而随机变化,而被控制量 始终快速而准确在跟踪给定值的变化而变化。例如,真空度及温度自动记录仪,从控制系统 的角度分析,均可看作是随动系统。 3)按控制装置类型分 ①继电器控制系统。控制装置由继电器、接触器等电器元件组成。通常用来实现简单 的顺序控制或参数的自动调节 ②工业仪表自控系统。整个控制装置为一台具有测量与控制功能的自动仪表。例如 温度控制仪、真空度(压力)控制仪等,常用来完成定值调节控制。 ③可编程序控制系统。控制装置可编程序控制器。中小型可编程序控制器用来实现程 序控制,大型可编程序控制器既可完成程序控制,又可进行参数调节。 ④计算机控制系统。控制装置为单片机、微型计算机或工业控制机。由于计算机具有 强大的数学运算和逻辑运算能力,因而用计算机能够组成各类型的、功能齐全的自动控制系 统和自动检测系统