扩散泵的加热功率对泵的极限压强、抽气速率、前级耐压和抽气量等性能参数  影响较大。图2-17给出了这些影响数据曲线  般说来,油温、前级极限压力、抽气量都随着加热功率的增加而增加,但过  高的加热功率反而使抽速降低,这是因为过高的蒸气分子密度降低了入射气体分子  的扩散系数和蒸气流边层湍流效应的增加以及油的热裂解等原因造成的。从图中给  出的抽气速率曲线,还可以看出对不同气体抽速的最佳加热功率是不相同的,质量  轻的气体的最佳加热功率大于质量重的气体。极限压力有一个最佳加热功率值,加  热功率不足时气体的反扩散增加,过高时则使油的热分解加重,影响扩散泵的极限  真空。而且不同结构的扩散泵采用不同牌号的泵油时,都有不完全相同的最佳加热  功率,需要通过实验给出  扩散泵的抽气量与加热功率成正比,设计良好的扩散泵热效率可以达到每千瓦  加热功率得到大约150Pa·L/s的抽气量。图中给出的功率与前级极限压力和抽气  量的关系曲线是一条单调上升的直线,其斜率则表示不同结构泵种的热效率。  超高真空油扩散泵的最佳加热功率,很难调整到扩散泵性能的各项指标都处于  最佳值。要根据实际需要,统筹兼顾,通常是以泵的极限压力、抽速为主要指标,  兼顾返油率、极限前级压力、抽气量、热效率等指标。