对各种真空泵的性能,都有规定的测试方法来检验其性能的优劣。真空泵的主要性能有  (1)真空泵的技术术语  极限压力、流量及抽气速率等。除外,对蒸气流泵而言,还有启动压力、何氏系数等名词术  语来表达泵的有关性能和参数。  ①极限压力( ultimate pressure of a pump)  真空与准试验罩检测容器相连:并按规定的条件工作,在不引人气体正常工  作的情况下,趋向稳定的最低压力。尽而言之,当真空泵进行长时间连续抽气,当试验罩内  的气体压力不再下降,而维持一定值时,此压力即为泵的极限压力,其单位为Pa  ②流量( throughput of vacuum pump)  在真空泵的吸气口处,单位时间内流过的气体量称为泵的流量。在真空技术中,流量的  单位用压力×体积/时间来表示。即用Pa·m3/s或Pa·m3/h表示。通常泵要给出流量与  入口压力的关系曲线。
③抽气速率( volume flow rnte of n vacuum pump)  在真空泵的吸气口处,单位时间内流过的气体的流量为泵的抽气速率。即气体的抽气速  率S为流量Q(Pa·m3/s)除以测试内气体的分压力p而得,一般的表达式为

1-1)
般真空泵的抽气速率与气体种类有关,给定的抽气速率表示对某种  抽气速率如无特殊标明,多指抽空气而言  除此之外,对于蒸气流真空泵(包括水蒸气喷射泵、油扩散喷射泵即油增压泵、油扩散

泵)  还有如下技术名称来表达泵的有关性能和参数
①启动压力( starting pressure)  真空泵无损坏启动并有抽气作用时的压力
⑤前级压力( backing pressure  排气压力低于101325Pn的直空泵的出口压力  ④最大前级压力( maximum backing pressure)  超过它能使泵损坏的前级压力  ①临界前级压力( critical backing pressure)  菜气喷射泵或扩散泵、扩散喷射泵所许可的最大前级压力值,超过了此值就破坏泵的正  工作,蒸气流泵的临界前级压力主要决定于抽气量  ③最大工作压力( maximum working pressure)  对应最大抽气量的入口压力。在此压力下,泵能连续工作而不恶化或损坏
⑨压缩比( compression ratio  泵对给定气体的出口压力与入口压力之比
①何氏系数( Ho coefficient)  油扩散泵入口抽气咽喉面积的抽速与该面积按分子泻流计算的理论抽速之比(我国何增  禄先生首次提出,被国际真空学者承认,故称何氏系数)。这是何增禄先生研究油扩散泵时  总结出来的,不涉及油扩散喷射泵的问题。何氏系数表达式为

11.6(D2-d2)
式中S——泵的抽速,L/s
D—泵口直径,cm
d喷嘴帽下沿外径,cm
①抽速系数( speed factor)  泵的实际抽气速率与泵入口面积按分子泻流计算的理论抽气速率之比,以K表示

(4-3)
11.6
式中S—泵的抽速,L/s;  从何氏系数H与抽速系数K相比较而言,显然H。>K,但H和K又都小于1.H  D—泵口直径,cm
和K越大,说明泵的抽气效率越高  ⑩返油率( back-streaming rate)  在相定条件下工作时,与抽气方向相反而通过泉入口的单位面积、单位时间的泵
质量流率。返油率单位:g·cm-2·s  (2)真空泵的用途  根据真空泵的性能,在各种应用真空装置的真空系统中它可承担如下一些工作  ①主泵。在真空系统中,用来获得所要求的真空度的真空泵。  ②粗抽泵。从大气压开始,降低系统的压力达到另一抽气系统开始工作的真空泵。  ③前级泵。用以使另一个泵的前级压力维持在其最高许可的前级压力以下的真空泵,  前级泵也可以做粗抽泵使用。  ④维持泵。在真空系统中,当抽气量很小时,不能有效地利用主要前级泵,为此,在  真空系统中配置一种容量较小的辅助前级泵,维持主泵工作或维持已抽空的容器所需之低压  的真空泵。  ⑤粗(低)真空泵。从大气压开始,降低容器压力且工作在低真空范围的真空泵  ⑥高真空泵。在高真空范围内工作的真空泵。  ⑦超高真空泵。在超高真空范围内工作的真空泵  ⑧增压泵。装于高真空泵和低真空泵之间,用来提高抽气系统在中间压力范围内的抽  气量或降低前级泵容量要求的真空泵(如机械增压泵和油增压泵等)。  (3)各类真空泵使用范围  各种形式的真空泵的工作范围见表3-2、表3-3。