工作真空度  正确地了解与确定一个设备所要求的真空度是很重要的，  它直接影响到真空系统的结构选择和对设备维修的要求。真空  系统一定要能够满足作业所要求的真空度。只要系统具有足够  的气密性，内部又没有经常放出气体或蒸气的气源，则这一要求  是可以满足的。当然也并不是真空度愈高愈好。否则会使设备  外形过分臃肿，成本增加。

                        (1)烘烤  这主要是射离子泵内钛沉积层吸附了大量水汽之故。为驱除水汽必须姚。抽速也小，  当溅射离子泵长期暴露大气时，不但会出现启动困难，而且极限压力也  烘烤时应将磁钢、各种引线、橡胶密封圈等拆下，缓缓升温，直至250~300℃,恒温  12h,烘烤时泵内真空度应不低于1×10-1Pa。烘烤完毕后，缓缓打开烘箱，装上磁钢。  )氩清洗处理  溅射离子泵沾污过油蒸气或其他有机物，阴极板氧化或大量排过氢气，则溅射离子泵真  空度会下降。一般可采用烘烤去气后再进行清洗处理。氩清洗是用氩离子轰击钛板，把阴  极板上的沾污物或溶解在阴极板里面的氢轰击出来。

   在超高真空实际量中，图量结果的准确性除了和真空计本身、真空计的校准  有美外，还和测量中其他因素有关，如气体种类和被测系统状态、直空计规管及连  接管道的抽气与放气、规管的安装位置及方法等。超高真空系统中的气体组分比较  简单，残余气体和常用的工作气体多为H2、N2,Ar、CO、CO2等单一气体，影  响量的O、H1O、油气等气体可以少于考虑。影响测量的主要因素为：电离  规的抽气与气体再释放、热表面与被测气体相互作用及非均匀态的压力测量等。

深圳杨程真空设备主要从事真空泵维修、莱宝真空泵维修服务。下面，和大家说说莱宝真空泵之扩散泵维护与保养。

油扩散泵的性能参数  (1)极限压力  油扩散泵的极限压力是指泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作  的情况下，趋向稳定的最低压力。泵的极限压力受许多因素的影响，如前级侧气体的反扩  散、泵壁温度下泵油的饱和蒸气压、蒸气流中释放出来的气体以及泵壁放气等。