(1)清洁油扩散泵。使用油扩散泵生产厂家提供的新泵或调试好的新泵可直接接入真空系统工作。但旧泵或 长期放置的新泵，在接入真空系统前，应对泵中零件进行清洁处理并换油。

　　①除去泵芯表面和泵壁上的机械杂质和各种油污;

　　②先用干净的汽油擦洗各零件和泵内壁表面后用丙酮、四氟化碳清洗这些零件和泵内壁表面，玻璃油扩散泵则用重铬酸钾洗液清洗。然后用热风吹于，并放置在无灰尘周围清洁 的环境中

　　③按顺序将泵芯装入泵腔中，调整好各级喷嘴间隙，并拧紧固定喷嘴的支撑杆，大泵 还需调整好四周固定螺杆，以防止喷嘴的正确位置。然后按规定数量加足莱宝真空泵油，泵油有时可 根据经验测量油层厚度，一般约1cm深即可

　　④检查加热电炉的电炉丝是否烧断、短路，电炉的绝缘性能、保温性能是否良好。

　　⑤检查水冷管(或水冷套)是否漏水、堵塞。要求水路畅通，水量充足。

　　⑥将泵接人真空系统，并对系统进行检漏，要求系统漏气率在允许范围内。

　　(2)油扩散泵的使用规程

　　①油扩散泵的开泵顺序

　　a.接通扩股的冷却水，用机械泵抽预真空。当扩散泵入口压力低于0.1P。时，接通 扩散夏加热电炉的电源，对扩散泵开始加热。

　　b.对于K-400以下的小泵，加热1h后泵可正常工作，K500以上的大泵，需要加热1 h后，泵才能正常工作，因此，在使用扩散泵系统时，应注意安排好扩散泵的启动时间 c.打开扩散泵的入口间门，泵即可正常工作

　　②油扩散泵的停止顺序

　　a.关闭扩散入口高真空阀门和真空计电源

　　b.切断扩散泵加热电源，机械泵继续工作

　　c.再工作30min(小泵)到2h(大泵)后，关闭扩散泵与机械泵之间的阀门，停止机 械泵工作，并向机械泵放入大气(如果机械泵入口装有电磁放气阀，在切断机械泵电源后，会因电气联钡而自动放气)。

　　d.当泵的油锅温度接近室温(50~60℃)后，关闭扩散泵的冷却水

　　c.为加快扩散泵冷却，可以卸下电炉，采用喷淋水的方法冷却。K200以下的小型泵，也可以采用装冷水的塑料盒放在泵的底部直接冷却。现代大型扩散泵都在油锅外壁设有急冷水管(或水套),泵正常工作时不通水，切断电源时通水急冷

　　③操作应注意事项

　　a.当扩散泵内油温较高时，不允许放入大气，以防泵油氧化变质，影响泵正常工作停泵时应保证泵内处于真空状态。

　　b.长期停泵时，水冷管(套)内的冷却水应放尽，并用压缩空气吹干

　　c.机械泵停止工作同时从泵入口放气，以免机械泵油流入扩散泵内，现代扩散泵机组都设计有电磁放气阀，停泵时自动放气。

　　d.扩散泵正常工作后，才能打开泵人口高真空阀，停泵时先关高真空阀，以减少泵油返流污染被抽容器。

　　e.应确保冷却水畅通，泵内真空度低于1Pa时才能对扩散泵加热，定期检查泵油，及时加注或更换。扩散泵抽气机组的水冷却系统应装有断水自动报警器和水压继电器，确保扩散泵冷和水的畅通，一旦断水及时处理。

　　④油扩散泵的故障分析及处理 扩散泵在长期使用后，如果泵的工作性能逐渐变坏即极限压力升高和抽速下降),而其他情况正常，则主要是泵油氧化变质。这时将扩散泵卸 观察泵油的颜色，如果泵油颜色发黑，混着物较多，不但使泵油氧化变质，而且泵油已 黑，此时应更换新油。如果泵接入系统后，真空度抽不上去，则首先检查泵所在系统的漏 率是否超过允许值，同时检查泵电炉的供电电压是否正常，泵的冷却是否正常。如果上述方面一切均正常，则可认为是泵芯装配方面的问题，泵芯装配前未清洗干净，或者泵芯装配不正。